自動搬送付きランプアニール装置

AccuThermoシリーズランプアニール装置(RTP・RTAシステム)とC to C 自動搬送システムを組み合わせたシステムをカスタム製作で対応いたします。

製作例

RTP・RTAシステム

搬送ロボット

ローダ・アンローダ

ソフトウェア

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