ダイシング添加剤/スクラブ洗浄液 ディアマフロー
ダイシング添加剤トップシェアのKETECA社製「ディアマフロー」
ダイシング時の切削水に添加することで、
ウエハのチッピングやクラックを低減、
パッドの腐食、再付着の防止につながります。
歩留まりアップ、ブレードライフの向上、コスト削減に。
スクラブ洗浄プロセスの洗浄液としても効果があります。
概要
- ダイシングプロセス時に純水に添加することで、製品の歩留まり向上。
- 製品は親水性・親油性であり、切削水の表面張力の低減。
- 切削水の表面張は50パーセント以上低下します。
(表面張力:72→31 dynes/cmに低下) - 切り口深くまでより切削水が浸漬し、切削箇所が低温に保たれます。
- 生分解性物質、排水処理も簡易です。RoHS2認証を取得。
- スクラブ洗浄の洗浄液としても効果があります。
特徴
- ダイシング切削水の表面張力を低減し、ブレードとウエハ間に深く浸透し冷却水の効果が向上。
- 取り扱いが簡易で、様々なダイシングメーカーの装置に対応可能。
- KETECA社の自動供給システムを使用し、純水とディアマフローの安定した比率での供給。研究開発用・量産向けのいずれも対応可能です。
- 濡れ性向上とパーティクル除去率の向上へ。ダイシング後のダイやボンディングパッドをよりクリーンな状態に。
- ダイシングプロセス及び洗浄プロセスの両方に対応可能。
- ご要望に応じたディアマフローをご提案致します。
ダイシング添加剤有無の比較
水分子は高い表面張力の為、ウエハの上部に溜まり、切り口に浸透しにくい傾向があります。
ブレードと切削領域に切りくずが蓄積し、チッピング、内部クラックが生じやすくなります。
ディアマフローを使用することによって、水の表面張力を効果的に低下させ、切り口に奥深くまで水が浸透、切削くずが流出しやすくなり、切削部分が低温に保たれます。
KETECA社自動供給システム
ディアマフローを添加する際、純水と一定の割合で、ダイシング装置に供給する必要があります。
使用されるダイシング装置の数に合わせて、ダイシング添加剤を自動供給に最適な装置をご提案させて頂きます。
ADS-2/ADS-4/ADS-6/CT-40 (量産用)
ADS-2は、ダイシングブレード2枚をサポートできます。
ADS-6は最大6枚のダイシングブレードをサポートするモデルとなります。
CT-40はCTP-1Dと組み合わせることで、ダイシングブレード15枚をサポートすることが可能です。
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