ランプアニール装置・高速熱処理装置(RTP/RTA装置)

大気圧ランプアニール装置(RTP・RTA) AccuThermo AW610M (6インチ対応)

大気圧ランプアニール装置(RTP・RTA) AccuThermo AW820M (8インチ対応)

真空ランプアニール装置(RTP・RTA) AccuThermo AW820V (8インチ対応)

自動搬送付きランプアニール装置