概要

• ワンチャンバーでウェットプロセスが完結
• お客様のご要望に応じたカスタム製造 (研究開発用のセミオート対応)
• 薬液の温調循環再生利用が可能で環境負荷低減・トータルのコスト削減へ
• アルカリと酸の基板処理を同一チャンバー内で処理も可能
• シールド板(特許取得済)が付属することでプロセス中の下段部及び中段部からの薬液の飛散を抑えることが可能
• 自動化により作業者の負荷軽減、人的ミスのリスク低減
• 極薄・脆弱な基板で対応することが可能

主仕様

使用用途	ウェットエッチング/リフトオフ/レジスト剥離/洗浄
装置寸法	(例) W2000×D1850×H1960 mm
対象ウエハサイズ	(例)4インチ、６インチ、8インチ
電源	200V、3層、50/60Hz
処理液	有機系剥離液、純水
薬液供給	薬液循環回収
レシピ数	40
ステップ数	50

※ご要望に応じて、その都度仕様は変更となります。対象サイズも柔軟に対応致します。

お問い合わせ

個人情報保護方針(プライバシーポリシー)

• 個人情報に関する法令・規範を遵守します。
• 当社はお客様の個人情報への不正アクセス、紛失、破壊、改ざん及び漏洩等の防止に努めます。
• 個人情報は法令に基づき開示される以外は、個人情報をお客様に明示した利用目的の範囲内で取扱い、第三者に譲渡、提供はしません。
• 当社は個人情報保護に対する取組みを継続的に見直し、適宜改善します。