4探針プローバー – ハイソル株式会社

※PCはセットに含まれません。

特長

直列4探針法を用いて、シリコンウェハ、太陽電池、ITO薄膜等のシート抵抗値・体積抵抗率の測定を行います。
最大12インチに対応する装置をラインナップしているので、測定する試料サイズに合わせて最適なステージをお選びいただけます。
専用ソフトウェアがシート抵抗・体積抵抗率をJIS準拠の計算式で自動的に算出するので、ウェハ面内複数点のデータ収集も容易に行えます。
KEITHLEY 2401型ソースメータを、標準測定器としてご用意しております。
測定専用ソフトウェアと合わせてご使用いただくことで、スムーズかつ高精度なシート抵抗・体積抵抗率測定が行えます。
プローブヘッドはNIST（米国立標準技術研究所）トレーサブルな校正用試料を用いて出荷前検査を実施しております。
プローブ針の材質は、タングステンカーバイド・オスミウム合金・金めっきベリリウム銅の3種類を用意しているので、試料に合わせてご選択いただけます。

Z軸の位置決めが構成度に行えるSR-4シリーズとローコストなSR-H1000Cをご用意しています。

SR-4-6

プローブヘッド高さ位置を分解能10umの精度で調整することができます。
コンパクトな装置設計となっており、場所をとることなく測定が出来ます。
6インチ、8インチ、12インチ用の3機種をご用意しておりますので、測定する試料サイズに合わせて最適な装置をご選択いただけます。

SR-H1000C(156角仕様)

低価格でシート抵抗・体積抵抗率の測定を実現できる4探針プローバーです。
ステージのチャックは角型です。
チャックサイズは、156mm角、300mm角の2機種をご用意しております。

測定する試料に合わせて、下記のラインナップより最適なプローブをご提案いたします。
お問い合わせをいただく際には、測定試料の情報をご教示いただければと思います。