小型真空マニュアル・プローバーHMP-V80 series

研究開発用小型真空プローバー（極低温～超高温対応）

5mm□～25mm□サイズのサンプルの、I-V / C-V / RF測定に対応した、研究開発用小型真空プローバーです。

4k台の極低温から、最高温度 +500℃の温度試験に対応した各モデルを取り揃えています。

アプリケーション

真空環境下、ガス置換環境下での特性試験
極低温～超高温での温度特性評価
微小信号I-V測定(fAレベル)
各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV,RF-CV)
RF測定(～67GHz)

システム構築例

DCプローブ×4，試料裏面コンタクト（バックゲート等）×1 構成

Keysight B1500A半導体デバイス・アナライザ
とのシステムアップ（微小信号I-V・C-V測定）

仕様

HMP-V80 series 共通仕様

General
試料サイズ	～5mm□～20 mm□
到達真空度※	1 x 10E -4 Pa
測定端子数	2 ～7 ( 最大6プローブ，バックゲート×1)
測定端子形状	標準：トライアキシャル(J)ハーメチックシール
Movements
プローブX-Y-Z移動量	X 30mm, Y 50mm, Z 15mm
プローブ位置決め調整感度	X-Y-Z ＜0.01mm
CCDズームユニット移動方式※	水平スイングアーム（フリーアクセス）
Microscope
方式※	液晶モニタ投影ズーム式CCDマイクロスコープ
モニタ上倍率※	40x ～240x
照明装置※	白色LEDリング照明装置

※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

ラインナップ

室温または極低温モデル

モデル名	温度制御範囲	加熱方式	冷却方式
HMP-V80	室温	なし	なし
HMP-V80-LH	4.2 k ～298 k (+25℃)	ヒーター	液体ヘリウム移送式
HMP-V80-LHM	8k台～473 k (+200℃)	ヒーター	液体ヘリウム移送式
HMP-V80-LHH	10k台～573 k (+300℃)	ヒーター	液体ヘリウム移送式
HMP-V80-LN	80 k ～298 k (+25℃)	ヒーター	液体窒素クライオスタット
HMP-V80-LNM	80k～473 k (+200℃)	ヒーター	液体窒素クライオスタット
HMP-V80-LNH	80k～573 k (+300℃)	ヒーター	液体窒素クライオスタット

超高温モデル

モデル名	温度制御範囲	加熱方式	冷却方式
HMP-V80+300	室温～+300℃	ヒーター	圧縮空気
HMP-V80+400	室温～+400℃	ヒーター	圧縮空気
HMP-V80+500	室温～+500℃	ヒーター	圧縮空気

●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

システムインテグレーション

ハイソルプローブ・システムと各種計測機器をインテグレーションし、統合した測定システムとしてご提供させて頂きます。

ハーネス、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに最適な測定システムをご提案いたします。

インテグレーション実績有計測器メーカー様

（順不同、敬称略）

キーサイト・テクノロジー(株)
テクトロニクス / ケースレーインスツルメンツ
(株)エヌエフ回路設計ブロック
ローデ・シュワルツ・ジャパン(株)
日置電機(株)
岩崎通信機(株)
(株)エーディーシー
(株)テクシオ・テクノロジー
他多数

インテグレーション実績有ユニットメーカー様（順不同、敬称略）

HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株）　他多数

カタログダウンロード（PDF）

ハイソルプローブシステム総合カタログ

ハイソルプローブ
システム総合カタログ

お問い合わせ

フォームが表示されるまでしばらくお待ち下さい。

恐れ入りますが、しばらくお待ちいただいてもフォームが表示されない場合は、こちらまでお問い合わせください。

個人情報保護方針(プライバシーポリシー)

個人情報に関する法令・規範を遵守します。
当社はお客様の個人情報への不正アクセス、紛失、破壊、改ざん及び漏洩等の防止に努めます。
個人情報は法令に基づき開示される以外は、個人情報をお客様に明示した利用目的の範囲内で取扱い、第三者に譲渡、提供はしません。
当社は個人情報保護に対する取組みを継続的に見直し、適宜改善します。

ページの上へ

お問い合わせ