200mm（8インチ）セミオート・プローバーのスタンダードモデル
HSP-200 セミオート・プローバーは最大8インチ（200mm）ウェハの測定に対応するスタンダードタイプのセミオートプローブシステムです。
剛性が高く位置決め精度・繰り返し精度に優れたメカ機構、直感的で簡単な操作性、先進の制御ソフトウェア、低ノイズ高精度測定を特徴とし、信頼性の高いセミオート オン・ウェハ測定をサポートします。
自由度の高い柔軟な設計コンセプトおよび、多彩なオプションを取り揃えており、微小信号I-V・C-V測定、インピーダンス特性評価、ハイパワーデバイス測定、sub THz帯域のRF測定、オプトエレクトロニクス測定 等の幅広いアプリケーションに対応可能な拡張性に優れたシステムです。
温度制御範囲 +15℃～+300℃ (特殊オプション+400℃) の高温チャックを搭載することが可能です。
アプリケーション
- +15℃/+25℃～+200℃/+300℃ の温度特性試験
- 微小信号I-V測定（fAレベル）
- 各種C-V測定（Quasi-Static C-V, HF-CV, RF-CV）、インピーダンス特性評価
- RF測定（～67GHz）※オプション：sub THz帯域 RF測定
- 超高速I-V測定
- ハイパワーデバイス測定（200A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kV coaxial）
- プローブカード対応（マルチサイトWLR対応可）
拡張アプリケーション
- レーザーカッターの搭載（ポイントマーキング,保護膜剥離,配線カット）
- オプトエレクトロニクス（LED, LD, VCSEL, PDなど）の受発光特性評価アプリケーション
- sub THz帯域 RF測定・ロードプル測定
- フラットパネルディスプレイデバイスのテスト
- ウエハレベル信頼性試験（EM, TDDB,HCI, NBTI,BTなど）
- ダイシングテープ上や、チップトレイやゲルパック上に整列した素子の自動プロービング
- 不良ダイマーキング（インカー、けがき）
システム例
DC・RF・マルチコンタクト・アクティブ等
各種プローブヘッドに対応（最大10台搭載可能）
プローブカード対応
（標準：4.5インチ幅角型プローブカード）
オートフォーカス光学系と画像認識アライメントによる40um以下小PADへの安定プロービング
X-Y-Z3軸電動ポジショナによる
プローブポジション自動補正対応
ダイシングフレームやクリップリング等
ダイシングフィルム上のデバイスの自動測定
チップトレイやゲルバックに搭載された
個片デバイスの自動測定
シンプルかつ操作性に優れた
ペリフェラルコントローラー
+15℃/+25℃～+200℃/+300℃
超ローノイズ高温チャック搭載可能
セミオートプローバー制御ソフトウェア
マニュアル操作画面
オート(自動運転)画面
ウェハマップ設定画面
画像認識設定画面
BINマッピング- 最新の高性能・多機能セミオートプロービングソフトウェア。
- OSはWindows IoT Enterprise LTSB に対応。(長期サポート対応）
- 操作性に優れたシングルウィンドウオペレーション。
- メガピクセル撮像カメラ対応。
- ソフトウェアGUIまたはペリフェラルコントローラにより、マニュアルプローバーとしてもご使用可能。
- 上位測定器やPCからGP-IBコマンドで、またはPC内にインストールされた測定器制御ソフトウェアからファイル渡しでの自動制御、自動運転に対応します。
- 上位ソフトウェアからBIN情報を受け取ることでウエハ面内BINマッピング表示に対応。
- 画像認識およびオートフォーカス制御によるX-Y-θ-Zアライメントに対応可能。（オプション）
- 各測定器で取得された測定生データを解析するための、データベース化、パラメータ抽出ソフトウェアを提供できます。（オプション）
- ソフトウェアは自社開発で、カスタマイズ要求を組み込むことが可能です。
仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 対応ウェハサイズ | ～φ200mm |
| ステージXY移動範囲 | X：210mm,Y：300mm |
| ステージXY繰り返し精度 | <±1.5um |
| ステージXY位置決め精度 | <±3um |
| ステージZ移動範囲 | 20mm |
| ステージZ繰り返し精度 | ＜±1um |
| ステージθ移動範囲 | ±7.5° |
| ステージθ位置決め分解能 | 0.0002° |
| 外形寸法・重量※ | W1700×D1000×H1690mm・約700kg |
※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。
ハードウェア オプション（代表）
- オートフォーカス機能
- アクティブ・クーリング機能（温度特性試験時のプローブ・チャック熱ドリフト低減）
- 顕微鏡 X-Y 電動ステージ（ソフトウェア制御）
- 顕微鏡 電動ズーム、電動フォーカス機能（ソフトウェア制御）
- プローブ自動クリーニング機能
- エッジセンサーユニット（プローブコンタクト高さ 面内 ±1umで制御）
- インカーユニット（ダイマーキング）
- セーフティ・ライトカーテン（追加インターロック機能）
- 超ローノイズ仕様（1/fノイズ、RTN測定に対応）
ソフトウェア オプション
- パターンマッチング 画像認識機能（XYθ位置補正）
- 測定器制御ソフトウェア（要ご相談）
標準的な自動測定対応ソフトウェア
| キーサイト・テクノロジー | ・EasyEXPERT group+ ・WaferPro Express ・SPARK他 |
|---|---|
| TFF/ケースレーインスツルメンツ | ・4200A-SCS KITE (Keithley Interactive Test Environment) ・ACS |
| ProPlus Design Solutions | ・Noisepro |
※その他、GP-IB通信対応ソフトウェアで制御可能です。
オプション
掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。
システムインテグレーション
ハイソルプローブ・システムと各種計測機器をインテグレーションし、統合した測定システムとしてワン・ストップ・ソリューションでご提供させて頂きます。
ハーネス、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに最適な測定システムをご提案いたします。
インテグレーション実績有 計測器メーカー様
（順不同、敬称略）
- キーサイト・テクノロジー(株)
- テクトロニクス / ケースレーインスツルメンツ
- (株)エヌエフ回路設計ブロック
- ローデ・シュワルツ・ジャパン(株)
- 日置電機(株)
- 岩崎通信機(株)
- (株)エーディーシー
- (株)テクシオ・テクノロジー
他 多数
インテグレーション実績有 ユニットメーカー様（順不同、敬称略）
HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株） 他 多数
ハイソル 自動測定対応ソフトウェア
ハイソル セミオートプローバーと各種測定器を自動制御するカスタムソフトウェアをご提供します。
お客様のご要求測定アプリケーションに最適な自動測定ソフトウェアを製作構築させて頂きます。
ソフトウェア製作事例
DCパラメトリック自動測定ソフトウェア
（スイッチング・マトリクス制御対応）
RF・Sパラメーター自動測定ソフトウェア
（SOLT / LRM 自動キャリブレーション対応）
カタログダウンロード（PDF）
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