直列4探針法を用いて、シリコンウェハ、金属薄膜、SiC等のシート抵抗値・体積抵抗率の測定を行います。
試料サイズに合わせて、小片～最大12インチに対応するステージをラインナップしております。
KEITHLEY 2400型シリーズのソースメータに対応した専用ソフトウェアと合わせてご使用いただくことで、自動的にシート抵抗値・体積抵抗率を算出できるので、試料のデータ収集を容易に行うことができます。