モデルSCM-CF 代表仕様

特長

• – 費用対効果・安定性・信頼性が高く、操作性に優れた製品です。
• – 無冷媒 超伝導マグネットによる1D / 2D / 3D 磁場印可を実現
• – φ 25 mm(標準)サンプルの特性評価 φ 50 mm(オプション)
• – 温度範囲10K~350K(標準)精度0.1K
  　低温側 4.3 K、高温側 400 K 拡張対応(オプション)
• – クローズドサイクル冷凍機による液体ヘリウムフリー運転
• – 微小信号I-V・LCR測定
• – DC ~ 67 GHzのRF測定
• – マルチコンタクトプローブ対応(DC / RF)
• – 4台のXYZマイクロマニピュレータ付きプローブアーム(θオプション)
  　最大6台まで対応可能(オプション)*磁場印可仕様による
• – プローブヘッドのサーマルアンカー対応
• – 温度管理された放射シールド
• – 高周波振動の優れた防振・除振性能
• – お客様の複雑な測定ニーズにお応えする高度なカスタマイズ対応

仕様

サンプルサイズ	– φ 25 mm（標準），φ50 mm（オプション）
磁場印可	– 無冷媒 超伝導マグネット，バイポーラ制御 – 1D磁場・2D磁場（オプション）・3D磁場（オプション） 　 以下のいずれかより選択 　　　1D 垂直磁場（Z） 最大 ± 2 T 　　　1D 垂直磁場（Z） 最大 ± 5 T 　　　1D 水平磁場（X） 最大 ± 2.5 T 　　　2D 垂直・水平磁場 2軸（ZX）最大 ±2 T 　　　2D 水平磁場 2軸（XY）最大 ±2 T 　　　3D 3次元磁場（XYZ） 最大 ± 1 T – 直径10 mm 領域 磁場均一性:±0.5 %以下 – アクティブ磁場制御用ホールプローブ(オプション)
温度制御範囲	– スタンダード:10K ~ 350K/400K – オプション:4.3K ~ 350K 　* 温度範囲は使用するプローブ、チャック構造、高温側仕様により制限が発生します。詳細はお問い合わせください。
温度制御	– サンプル冷却方式:無冷媒クローズドサイクル冷凍機(空冷 または 水冷) – 超伝導マグネット冷却方式:無冷媒クローズドサイクル冷凍機(空冷 または 水冷) – 加熱方式:ヒーター – チャック部温度精度・安定性:±100 mK – コントローラー温度分解能:1 mK – サーマルアンカー付きプローブアーム，放射シールド – 温度測定箇所:チャック部・プローブアーム・超伝導マグネット・放射シールド(オプション)・冷凍機コールドヘッド(オプション)
到達真空度	– 10-3 Pa（オプション 10-5 Pa）*低温制御時
ウェハチャック	– 接地型（GND） – 絶縁型（フローティング） – コアキシャル – トライアキシャル 　　* 接地型以外は温度制御範囲に制限が発生します。 – 非磁性仕様
プローブ	– 非磁性 DCプローブ(同軸，トライアキシャル) – 非磁性 RFプローブ(DC ~ 67 GHz)特殊オプション 110 GHz対応可能 – 非磁性 マルチコンタクトプローブ(DC，RF) – 光ファイバープローブ
プローブ マニピュレータ	– 真空ベローズ導入 – XYZ移動方式：マニュアル（標準）・電動（オプション） – マニピュレータ数：4台（標準） 　 最大 6台まで対応可能 * 1Dまたは2D（ZX）のみ – RFプローブ・DCウェッジプローブ用のθ調整機構（オプション）
光学系	– ビューポート窓材:溶融石英，カスタム素材やコーティング処理も可能 – ビューポート追加:オプションで対応可能 – 超長作動距離ズーム鏡筒 – 同軸落射照明またはLEDリング照明 – 顕微鏡XYZ移動機構:スライド式フリーアームまたは電動XYZ(オプション) – プログラマブルコールドシャッター(オプション)
カメラ	– 1M～10Mピクセルデジタルカメラより選択 　 画像および動画キャプチャ，寸法測定機能付きソフトウェア付属
除振機能	– 空気ばね式除振テーブル、防振ベローズ
磁気シールド	– アクティブシールド，パッシブシールドの選択が可能(オプション)
ソフトウェア	– MicroXact SCM 制御ソフトウェア 　 サンプル温度制御，超伝導マグネット磁場制御，シャッター制御，真空ポンプ制御 等 　 オープンソースのLabVIEWベースソフトウェアで各種測定器との統合が容易

●システムの構成により仕様に変更・制限が入る場合があります。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

カスタム仕様 極低温 磁場印可型プローブ・システム

　MicroXactのクライオマグネティックプローブステーションは、電磁石、または電磁石と超伝導マグネットの組み合わせでシステムを構築することができます。お客様の要求仕様に基づき、カスタム製品を提供可能です。

　MicroXact社は米国バージニア州に拠点を置く、真空・極低温・超高温・磁場印可をキーワードとしたユニークかつ先進的なプローブ・システムを製造・販売する企業です。2004年の設立以来、現在までに25以上の国と地域に納入実績があり、超伝導エレクトロニクス、量子コンピューティング、スピントロニクス、グラフェン、ナノエレクトロニクスなどの科学研究のイノベーションをサポートし続けています。
　ハイソル株式会社は、MicroXact社製品の日本総代理店です。

カタログダウンロード（PDF）

お問い合わせ

個人情報保護方針(プライバシーポリシー)

• 個人情報に関する法令・規範を遵守します。
• 当社はお客様の個人情報への不正アクセス、紛失、破壊、改ざん及び漏洩等の防止に努めます。
• 個人情報は法令に基づき開示される以外は、個人情報をお客様に明示した利用目的の範囲内で取扱い、第三者に譲渡、提供はしません。
• 当社は個人情報保護に対する取組みを継続的に見直し、適宜改善します。