モデルCPS-HT / CPS-HT-PLUS 代表仕様

特長

CPS-XXX-HT

• – 費用対効果・安定性・信頼性が高く、操作性に優れた製品です。
• – 25 mm角(標準)50 mm角・100 mmウェハ(オプション)の測定
• – 真空中 +700 °C，大気圧 +650 °Cでの長時間安定テスト
• – nAレベルのI-V測定，DC ~ 2 GHzのRF測定
• – 4台のXYZマイクロマニピュレータ付きプローブアーム
  　最大8台まで対応可能(オプション)
• – クリアビュー・トップウィンドウ(高純度石英または溶融石英)
• – 温度管理された放射シールド
• – 業界標準レベル以下の防振性能(チャック部の振動 <±1 μm)
• – お客様の複雑な測定ニーズにお応えするカスタマイズ対応

CPS-XXX-HT-PLUS

• – 費用対効果・安定性・信頼性が高く、操作性に優れた製品です。
• – 100 mmウェハ(200 mmウェハ オプション)の自動面内測定に対応
• – 真空中 +700 °C，大気圧 +650 °Cでの安定テスト
• – nAレベルのI-V測定，DC ~ 2 GHzのRF測定
• – 4台のXYZマイクロマニピュレータ付きプローブアーム
  　最大8台まで対応可能(オプション)
• – クリアビュー・トップウィンドウ(高純度石英または溶融石英)
• – 温度管理された放射シールド
• – 業界標準レベル以下の防振性能(チャック部の振動 <±1 μm)
• – お客様の複雑な測定ニーズにお応えするカスタマイズ対応

仕様

CPS-XXX-HT　マニュアル・プローブステーション

サンプルサイズ	– 25 mm□，50 mm□，φ100 mm
温度制御範囲	– 300 K ～ 1000 K – 150 K ～ 800 K（オプション 液体窒素使用） – その他リクエストに対応します。
温度制御	– 冷却方式：圧縮空気（標準）・液体窒素（オプション） – 加熱方式：ヒーター – チャック部温度精度・安定性：低温で1 K，550 K以上で2 K – コントローラー温度分解能：0.1 K – 放射シールド – 温度測定箇所：チャック（2箇所）・放射シールド(オプション）
到達真空度	– 10-1 Pa（オプション 10-4 Pa）
ウェハチャック	– 接地型（GND） – 絶縁型（フローティング） – コアキシャル – トライアキシャル
プローブ	– DCプローブ（同軸，トライアキシャル） – RFプローブ（2 GHzまで）
プローブ マニピュレータ	– 真空ベローズ導入 – XYZ移動方式：マニュアル（標準）・電動（オプション） – マニピュレータ数：4台（標準）最大 8台まで対応可能
光学系	– ビューポート窓材：溶融石英，カスタム素材やコーティング処理も可能 – ビューポート追加：オプションで対応可能 – 解像度 4 μm以下の各種ズーム鏡筒（Qioptic またはNavitarが標準） – 同軸落射照明またはLEDリング照明 – 顕微鏡XYZ移動機構：スライド式フリーアームまたは電動（オプション）
カメラ	– 1M～10Mピクセルデジタルカメラより選択 　 画像および動画キャプチャ，寸法測定機能付きソフトウェア付属
除振機能	– 空気ばね式除振機構（オプション）

●システムの構成により仕様に変更・制限が入る場合があります。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

CPS-XXX-HT-PLUS　セミオート・プローブステーション

サンプルサイズ	– φ100 mm（標準），φ200 mm（オプション）
温度制御範囲	– 300 K ～ 1000 K – 150 K ～ 800 K（オプション 液体窒素使用） – その他リクエストに対応します。
温度制御	– 冷却方式：圧縮空気（標準）・液体窒素（オプション） – 加熱方式：ヒーター – チャック部温度精度・安定性：低温で1 K，550 K以上で2 K – コントローラー温度分解能：0.1 K – 放射シールド – 温度測定箇所：チャック（2箇所）・放射シールド(オプション）
到達真空度	– 10-1 Pa（オプション 10-4 Pa）
ウェハチャック	– 接地型（GND） – 絶縁型（フローティング） – コアキシャル – トライアキシャル – 平面度：＜ 10 μm
プローブ	– DCプローブ（同軸，トライアキシャル） – RFプローブ（2 GHzまで）
プローブ マニピュレータ	– 真空ベローズ導入 – XYZ電動，分解能 ＜ 3 μm（それ以下の分解能はオプション），システムの構成により各種ストロークに対応 – マニピュレータ数：4台（標準）最大 8台まで対応可能
チャックXYステージ	– 100 mmモデル：X 100 mm × Y 100 mm ストローク – 200 mmモデル：X 200 mm × Y 200 mm ストローク – 分解能：1.5 μm，繰り返し精度：±7.5 μm
チャックZステージ	– Z 12.5 mm – 分解能：0.1 μm，繰り返し精度：±1.0 μm
チャックθステージ	– マニュアル：θ ±5° – 電動（オプション）：θ ±5°，分解能：＜ 0.004°
光学系	– ビューポート窓材：溶融石英，カスタム素材やコーティング処理も可能 – ビューポート追加：オプションで対応可能 – 解像度 4 μm以下の各種ズーム鏡筒（Qioptic またはNavitarが標準） – 同軸落射照明またはLEDリング照明 – 顕微鏡XYZ移動機構：スライド式フリーアームまたは電動（オプション） – シャッター（オプション）
カメラ	– 1M～10Mピクセルデジタルカメラより選択
除振機能	– 空気ばね式除振機構を装備 – チャック部の振動：＜±1 μm
ソフトウェア	– MicroXact XactTest™ ソフトウェア
通信インターフェイス	– GP-IB，USB，RS-232

●システムの構成により仕様に変更・制限が入る場合があります。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

　MicroXact社は米国バージニア州に拠点を置く、真空・極低温・超高温・磁場印可をキーワードとしたユニークかつ先進的なプローブ・システムを製造・販売する企業です。2004年の設立以来、現在までに25以上の国と地域に納入実績があり、超伝導エレクトロニクス、量子コンピューティング、スピントロニクス、グラフェン、ナノエレクトロニクスなどの科学研究のイノベーションをサポートし続けています。
　ハイソル株式会社は、MicroXact社製品の日本総代理店です。

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