高低温対応マニュアル・プローバーHMP-810SC(8 inch)/HMP-1210SC(12 inch)

-60℃~+400℃の温度特性評価、ウェハレベル信頼性試験

HMP-810SC・HMP-1210SC マニュアル・プローバーは最大8インチ(200mm)または最大12インチ(300mm)ウェハの測定に対応するシールドチャンバー仕様のマニュアルプローブシステムです。

剛性が高く繰り返し精度に優れたメカ機構、直感的で簡単な操作性、高精度測定を特徴とし、信頼性の高いオン・ウェハ測定をサポートします。

容積の小さい超低ノイズシールドチャンバー構造を採用しており低露点ドライエアやN2等の不活性ガスをパージしながら各種電気的測定に対応できます。

また、チャンバー開放を行わない状態で、顕微鏡操作、ポジショナ操作、チャックステージの移動操作、コンタクト・セパレーション操作が可能です。

温度制御範囲 -60℃ ~ +300℃(特殊オプション+400℃)の高低温チャックを組み込むことができ、高低温特性試験に対応できます。

・ HMP-810SC:8インチ (φ200mm) 対応
・ HMP-1210SC:12インチ (φ300mm) 対応

アプリケーション

  • -60℃/-40℃~+200℃/+300℃ の温度特性試験
  • N2、Ar等不活性ガス環境下でのテスト(露点温度-70℃以下、残留酸素濃度100ppm以下)
  • 微小信号I-V測定(fAレベル)
  • 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV, RF-CV)、インピーダンス特性評価
  • RF測定(~67GHz)※オプション:sub THz帯域 RF測定
  • 超高速I-V測定
  • ハイパワーデバイス測定(200A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kV coaxial)
  • プローブカード対応(マルチサイトWLR対応可)

拡張アプリケーション

  • 1/f ノイズ評価、RTN(ランダムテレグラフノイズ)評価
  • オプトエレクトロニクス(LED, LD, VCSEL, PDなど)の受発光特性評価アプリケーション
  • sub THz帯域 RF測定・ロードプル測定
  • ウエハレベル信頼性試験(EM, TDDB,HCI, NBTI,BTなど)※240時間以上の連続試験可能

システム例


HMP-810SC 200mm(8inch)システム

HMP-1210SC
300mm(12inch)システム
(XYデジタルリードアウト付き)

DCプローブ×4,RFプローブ×2(EAST/WEST)
FETプローブ×1 構成

+300℃対応 マルチサイトWLR
プローブカード搭載

-60℃~+300℃ ウェハチャック搭載
(プルアウト機構による安全なウェハ交換)

ハイパワーデバイス温度特性評価
(-60℃~+300℃,10kV I-V,3kV C-V,200A)

代表仕様

項目 HMP-810SC HMP-1210SC
ステージXY移動範囲(粗動) X : 210mm, Y : 210mm X : 310mm, Y : 310mm
ステージXY移動範囲(微動) 同上 同上
ステージθ移動範囲 ±5°
プラテンZ軸アクション 0 –0.3mm
ステージZ軸調整範囲 0 ~20mm
システム寸法(W×D×H)※ 960 ×980 ×1550 mm 1100 ×1000 ×1550 mm
システム重量※ 約750 kg 約870 kg

※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

システムインテグレーション

ハイソルプローブ・システムと各種計測機器をインテグレーションし、統合した測定システムとしてワン・ストップ・ソリューションでご提供させて頂きます。

ハーネス、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに最適な測定システムをご提案いたします。

インテグレーション実績有 計測器メーカー様

(順不同、敬称略)

  • キーサイト・テクノロジー(株)
  • テクトロニクス / ケースレーインスツルメンツ
  • (株)エヌエフ回路設計ブロック
  • ローデ・シュワルツ・ジャパン(株)
  • 日置電機(株)
  • 岩崎通信機(株)
  • (株)エーディーシー
  • (株)テクシオ・テクノロジー
    他 多数

インテグレーション実績有 ユニットメーカー様(順不同、敬称略)

HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株) 他 多数

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