高低温対応 小型マニュアル・プローバーHMP-410SC(4 inch)/HMP-610SC(6 inch)

-60℃~+200℃の高低温温度特性評価、ウェハレベル信頼性試験

HMP-410SC/610SC 高低温対応 小型マニュアル・プローバーはシールドチャンバータイプのコンパクトな卓上型マニュアル・プローバーです。

剛性が高く繰り返し精度に優れたメカ機構、直感的で簡単な操作性、高精度測定を特徴とし、信頼性の高いオン・ウェハ測定をサポートします。

容積の小さい超低ノイズシールドチャンバー構造を採用しており低露点ドライエアやN2等の不活性ガスをパージしながら各種電気的測定に対応できます。

また、チャンバー開放を行わない状態で、顕微鏡操作、ポジショナ操作、チャックステージの移動操作、コンタクト・セパレーション操作が可能です。

温度制御範囲 -60℃ ~ +200℃(特殊オプション+300℃)の高低温チャックを組み込むことができ、高低温特性試験に対応できます。

・ HMP-410SC:4インチ (φ100mm) 対応
・ HMP-610SC:6インチ (φ150mm) 対応

アプリケーション

  • -60℃/-40℃~+200℃/+300℃ の温度特性試験
  • 微小信号I-V測定(fAレベル)
  • 各種C-V測定(Quasi-Static C-V, HF-CV,RF-CV)、インピーダンス特性評価
  • RF測定(~67GHz)
  • 超高速I-V測定
  • N2、Ar 等 不活性ガス環境下でのテスト(露点温度 -60℃、残留酸素濃度 100ppm 以下)
  • プローブカード対応(マルチサイトWLR対応可)

システム概要


DC・RF・マルチコンタクトに対応可能な
プローブヘッド構造(最大6台搭載可能)

チャックプルアウト機構による
安全なウェハ交換(チャック全面が露出)

チャンバーの開放無しでポジショナ、チャック移動ステージ、顕微鏡、
コンタクト・セパレーション操作が可能


シールディング性能・プローブ交換の作業性に
配慮したプローブアームインサート構造

オプションのプローブカードアダプタ
(標準:4.5インチ幅角型プローブカード)

パージガス流量調節用 ニードルバルブ付き
流量計を標準装備

オプションでチャンバー内雰囲気監視用の
露点センサや酸素濃度計を組み込み可能

システム例


HMP-410SC 高低温システム
空気ばね式除振台付属、露点計付

マルチサイトプローブカード搭載仕様
ウェハレベル信頼性試験(カスタム対応)

代表仕様

項目 HMP-410SC HMP-610SC
ステージXY移動範囲(粗微動) X : 110mm, Y : 110mm X : 160mm, Y : 160mm
ステージXY移動分解能 粗動 25.4mm/回転,微動 3.3mm/回転(調整感度 5um以下)
ステージθ移動範囲 ±5°
プラテンZ軸アクション 0 – 0.3mm コンタクト-セパレーション レバー操作
ステージZ軸調整範囲 0 ~ 25mm
システム寸法(W×D×H)※ 530 × 710 × 670 mm 590 × 800 × 670 mm
システム重量 ※ 約90kg 約110kg

※突起物を除く。システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

システムインテグレーション

ハイソルプローブ・システムと各種計測機器をインテグレーションし、統合した測定システムとしてワン・ストップ・ソリューションでご提供させて頂きます。

ハーネス、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに最適な測定システムをご提案いたします。

インテグレーション実績有 計測器メーカー様

(順不同、敬称略)

  • キーサイト・テクノロジー(株)
  • テクトロニクス / ケースレーインスツルメンツ
  • (株)エヌエフ回路設計ブロック
  • ローデ・シュワルツ・ジャパン(株)
  • 日置電機(株)
  • 岩崎通信機(株)
  • (株)エーディーシー
  • (株)テクシオ・テクノロジー
    他 多数

インテグレーション実績有 ユニットメーカー様(順不同、敬称略)

HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株) 他 多数

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