ベストセラー コンパクトマニュアルプローバー

アプリケーション

• 微小信号 I-V測定（fA レベル）
• 各種C-V測定（Quasi-Static C-V, HF-CV）
• 4端子抵抗測定

拡張アプリケーション

• +15℃ ～ +120℃、室温 ～ +200℃または、+300℃ 範囲の温度特性試験
• グローブボックス内設置
• プローブカード対応
• RF測定（～40GHz）
• 超高速 I-V測定
• ハイパワーデバイス測定（100A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kV coaxial）
• オプティカルデバイス（LED, LD, VCSEL, PDなど）の受発光特性評価アプリケーション

システム構成例

代表仕様

項目	HMP-400	HMP-600
ステージXY移動範囲（粗動）	X：110mm，Y：150mm	X：160mm，Y：220mm
ステージXY移動範囲（微動）	XY 各 ±6.5mm
ステージθ移動範囲	粗動 ±30°, 微動 ±2.5°
プラテンZ軸アクション	0 – 20mm フリー
ステージZ軸調整範囲	0 ～ 15mm
システム寸法（W×D×H）※	350 × 390 × 450 mm	406 × 490 × 450 mm
システム重量※	約 28 kg	約 36 kg

※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

微小信号測定性能

下記のプロットは、オープン状態のプローブおよびチャックに-200Vから+200Vの掃引電圧を印加し、その
際の電流値を測定した結果です。その測定結果は-200Vから+200Vの全てのレンジにおいて、±10fA 未満の
ノイズおよびリーク電流を示しており、弊社が供給するプローブシステムが、100fA以下の測定確度を必要
とする微小信号測定アプリケーションに対応していることを証明しています。

※上記の測定値は弊社測定環境における実測値であり保証値ではありません。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

システムインテグレーション

インテグレーション実績有 ユニットメーカー様（順不同、敬称略）

HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株）　他 多数

カタログダウンロード（PDF）

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