300mm スタンダードマニュアル・プローバー

300mm（12インチ）マニュアル・プローバーのスタンダードモデル

HMP-1200 マニュアル・プローバーは最大12インチ（300mm）ウェハの測定に対応するスタンダードタイプのマニュアルプローブシステムです。
剛性が高く繰り返し精度に優れたメカ機構、直感的で簡単な操作性、高精度測定を特徴とし、信頼性の高いオン・ウェハ測定をサポートします。
自由度の高い柔軟な設計コンセプトおよび、多彩なオプションを取り揃えており、微小信号I-V・C-V測定、インピーダンス特性評価、ハイパワーデバイス測定、sub THz帯域のRF測定、オプトエレクトロニクス測定等の幅広いアプリケーションに対応可能な拡張性に優れたシステムです。

温度制御範囲 +15℃～+300℃ (特殊オプション+400℃) の高温チャックを搭載することが可能です。

アプリケーション

+15℃/+25℃～+200℃/+300℃ の温度特性試験
微小信号I-V測定（fAレベル）
各種C-V測定（Quasi-Static C-V, HF-CV, RF-CV）、インピーダンス特性評価
RF測定（～67GHz）※オプション：sub THz帯域 RF測定
超高速I-V測定
ハイパワーデバイス測定（200A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kV coaxial）
プローブカード対応（マルチサイトWLR対応可）

拡張アプリケーション

金属顕微鏡、アクティブ除振台、超高精度ステージ搭載によるサブミクロン精度プロービング
レーザーカッターの搭載（ポイントマーキング,保護膜剥離,配線カット）
オプトエレクトロニクス（LED, LD, VCSEL, PDなど）の受発光特性評価アプリケーション
sub THz帯域 RF測定・ロードプル測定
フラットパネルディスプレイデバイスのテスト
ウエハレベル信頼性試験（EM, TDDB,HCI, NBTI,BTなど）

システム例

HMP-1200EA
PADプロービング対応実体顕微鏡モデル

HMP-1200HS
サブミクロンプロービング金属顕微鏡モデル

HMP-1200EA 実体顕微鏡モデル
架台付きシールド遮光ボックス対応

HMP-1200HS 金属顕微鏡モデル
除振システム付きシールド遮光ボックス対応

DC・RF・マルチコンタクト・アクティブ等
各種プローブヘッドに対応（最大10台搭載可能）

+15℃/+25℃～+200℃/+300℃
超ローノイズ高温チャック搭載可能

仕様

項目	仕様
ステージXY移動範囲（粗動）	X：310mm，Y400mm，エアフロートフリーアクセス
ステージXY移動範囲（微動）	XY 各±6.5mm，マイクロメータヘッド
ステージθ移動範囲	粗動 ±30°, 微動 ±2.5°
プラテンZ軸アクション	0 – 0.3mm, コンタクト－セパレーションレバー操作
ステージZ軸調整範囲	0 ～ 25mm
外形寸法・重量（HMP-1200EA）※	W860×D780×H510mm・約110kg
外形寸法・重量（HMP-1200HS）※	W930×D900×H865mm・約160kg