磁気デバイス評価用プローバー（MRプローバー）

スピントロニクスデバイス評価用磁場印可プローバー

各種磁気センサーや、スピンメモリの特性評価に最適な、磁場印可型プローブ・システムを設計製作でご提供します。

ヒステリシス特性に優れた低残留磁界電磁石の搭載、磁界印可エリアの高度な非磁性化により正確な磁界印可環境で特性評価を行うことが出来ます。

研究開発用のコンパクトなマニュアル・プローバーから、ウェハ面内自動測定に対応したセミオート・システムまで、お客様のアプリケーションに最適な磁気デバイステストシステムをご提供いたします。

マニュアル・プローバー製作例

※ 掲載製品以外の仕様の製品も、設計製作にて対応いたします。
● 記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

面内磁界マニュアル・プローバー

面内 1軸(Hx)または、面内 2軸(Hx，Hy)の高精度磁界印可測定に対応するマニュアルプローバーです。

4端子磁気抵抗測定や、2ポート/4ポート高周波測定(～40GHz)に対応できます。
オプションで室温～+150℃範囲の温度特性試験に対応可能です。

代表仕様

電磁石仕様
磁界方向	面内磁界 Hx 1軸（オプション：Hx，Hy2軸）
発生磁場強度	Hx 1軸仕様 ±3,000 Oe （オプション：Hx，Hy2軸仕様±2,500Oe)
磁場分布	Φ1mmエリア ±2％以下
残留磁界	環境磁界レベル
磁場制御方式	手動(ボリュームダイヤル)または外部制御
参照磁界モニタ	付属（ホール検出器）
プローバー仕様
試料サイズ	5mm□～2インチφ (オプションで8インチφまで対応可能）
ステージXY移動範囲（粗動）	X : 80mm, Y : 120mm
ステージXY移動範囲（微動）	XY 各6.5mm
ステージθ移動範囲	粗動 ±30°，微動 ±2.5°
プラテンZ軸アクション	0-20mmフリー

オプション

非磁性DC測定用プローブ
非磁性高周波プローブ（～40GHz）
非磁性プローブカード

非磁性高温チャック（室温～+150℃）
印可磁界キャリブレーション・ツール
磁区観察機能　　etc.

垂直磁界マニュアル・プローバー

±7.5 kOe 垂直磁界印可測定に対応するマニュアルプローバーです。

4端子磁気抵抗測定や、2ポート/4ポート高周波測定(～67GHz)に対応できます。

代表仕様

電磁石仕様
磁界方向	垂直磁界 Hz1軸
発生磁場強度	Hx 1軸仕様 ±7,500Oe
磁場分布	Φ1mmエリア ±2％以下
残留磁界	環境磁界レベル
磁場制御方式	手動(ボリュームダイヤル)または外部制御
参照磁界モニタ	付属（ホール検出器）
プローバー仕様
試料サイズ	5mm□～2インチφ (オプションで8インチφまで対応可能）
ステージXY移動範囲	XY 各50mm（Y軸プルアウト機構付）
ステージθ移動範囲	粗動 ±30°，微動 ±2.5°
プラテンZ軸アクション	0-20mmフリー

オプション

非磁性DC測定用プローブ
非磁性高周波プローブ（～67GHz）
非磁性プローブカード

印可磁界キャリブレーション・ツール
磁区観察機能　　etc.

垂直磁界・面内磁界電磁石切替式マニュアル・プローバー

面内磁界 2軸 (Hx，Hy) 電磁石と、垂直磁界 (Hz) 電磁石を1台のプローバーに搭載したシステムです。
スライド機構により、2台の電磁石を容易に切り替えることができ、3軸磁界評価が可能です。

4端子磁気抵抗測定や、2ポート/4ポート高周波測定(～40GHz)に対応できます。

代表仕様

垂直磁界電磁石仕様
磁界方向	垂直磁界　Hz 1軸
発生磁場強度	Hz 1軸仕様 ± 7,500 Oe
磁場分布	Φ1mmエリア ±2％以下
残留磁界	環境磁界レベル
磁場制御方式	手動(ボリュームダイヤル)または外部制御
参照磁界モニタ	付属（ホール検出器）
面内磁界電磁石仕様
磁界方向	面内磁界 Hx，Hy 2軸
発生磁場強度	Hx，Hy ±2,500 Oe
磁場分布	Φ1mmエリア ±2％以下
残留磁界	環境磁界レベル
磁場制御方式	手動(ボリュームダイヤル)または外部制御
参照磁界モニタ	付属（ホール検出器）
プローバー仕様
試料サイズ	5mm□ ～ 2インチ φ (オプションで8インチφまで対応可能）
ステージXY移動範囲	XY 各50mm（Y軸プルアウト機構付）
ステージθ移動範囲	±2.5°
電磁石切替機構	X方向スライド機構（手動）
プラテンZ軸アクション	0 – 20mm フリー

オプション

非磁性DC測定用プローブ
非磁性高周波プローブ（～67GHz）
非磁性プローブカード

印可磁界キャリブレーション・ツール
磁区観察機能　　etc.

高低温磁界印可マニュアル・プローバー

各種磁気センサーの高低温温度特性評価用プローブシステム。
-60℃～+150℃の温度制御範囲で各種磁気-電気特性の評価に対応します。

垂直磁界印可モデルと面内磁界印可モデルをご用意しています。

代表仕様

電磁石仕様
磁界方向	垂直磁界Hz1軸（オプション：面内磁界Hx，Hy 2軸）
発生磁場強度	Hz±2000Oe （オプション：Hx，Hy 2軸仕様±2500Oe）
磁場分布	Φ1mmエリア ±2％以下
残留磁界	環境磁界レベル
磁場制御方式	手動(ボリュームダイヤル)または外部制御
参照磁界モニタ	付属（ホール検出器）
プローバー仕様
試料サイズ	5mm□～8インチφ
温度制御範囲	-60℃ ～+150℃
ステージXY移動範囲（粗微動）	XY 各210mm（Y軸プルアウト機構付）
ステージθ移動範囲	±5°
プラテンZ軸アクション	0-20mmフリー

オプション

非磁性DC測定用プローブ
非磁性高周波プローブ（～40GHz）
非磁性プローブカード

印可磁界キャリブレーション・ツール
etc.

セミオート・プローバー製作例

※ 掲載製品以外の仕様の製品も、設計製作にて対応いたします。
● 記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

面内磁界セミオート・プローバー

面内磁界印可 (Hx，Hy）に対応するセミオート・プローブシステムです。
(発生磁界2軸独立制御方式)
ウェハ面内の各軸R-Hカーブ、特性パラメータ(MR, Rmin, Rmax, Hc，Hk等)自動測定に対応します。

代表仕様

電磁石仕様
磁界方向	面内磁界　Hx 1軸（オプション：Hx，Hy 2軸）
発生磁場強度	Hx 1軸仕様 ± 3,000 Oe （オプション：Hx，Hy 2軸仕様 ±2,500 Oe)
磁場分布	Φ1mmエリア ±2％以下
残留磁界	環境磁界レベル
プローバー仕様
プローブステーションタイプ	セミオート
試料サイズ	4インチφ ～ 8インチ φ
ステージXY移動範囲	X : 210mm, Y : 300mm
ステージZ移動範囲	20mm
ステージθ移動範囲	±7.5°

3軸磁界セミオート・プローバー

任意の3軸ベクトル（Hz，Hx，Hy）の磁界印可に対応するセミオート・プローブシステムです。
(発生磁界3軸独立制御方式)
ウェハ面内の各軸R-Hカーブ、特性パラメータ(MR, Rmin, Rmax, Hc，Hk等)自動測定に対応します。

代表仕様

電磁石仕様
磁界方向	3軸（Hz，Hx，Hy）
発生磁場強度	Hx / Hy / Hz ±1000 Oe
磁場分布	3mm角エリア ±2％以下
残留磁界	環境磁界レベル
プローバー仕様
プローブステーションタイプ	セミオート
試料サイズ	～4インチφ
ステージXY移動範囲	X : 110mm, Y : 200mm
ステージZ移動範囲	20mm
ステージθ移動範囲	±7.5°

面内回転磁界セミオート・プローバー

角度センサー特性評価用の面内回転磁界対応セミオート・プローブシステムです。

ダイレクトドライブモーターを用いて面内1軸電磁石を360°回転させることにより高速・高精度・高分解能回転磁界を印可することができます。

代表仕様

電磁石仕様
磁界方向	Hx1軸360°（-10°～370°）回転磁界角度分解能0.002°
発生磁場強度	Hx ±500 Oe
磁場分布	3mm角エリア±2％以下
残留磁界	環境磁界レベル
プローバー仕様
プローブステーションタイプ	セミオート
試料サイズ	～6インチφ
ステージXY移動範囲	X : 160mm, Y : 250mm
ステージZ移動範囲	20mm
ステージθ移動範囲	±7.5°

印可磁界キャリブレーション・ツール

プローバー用に開発された、基板型ホールプローブと高精度ガウスメーターをセットでご提供させていただきます。(軸数：1軸、2軸、3軸の3種類)
基板型ホールプローブはウェハと同じようにチャック上にセットできますので、実際のデバイスに印可される正確な磁界を確認することができます。
また、磁界測定値をフィードバックし電磁石励磁電流を補正するキャリブレーションソフトウェアもご用意しております。