概要

• 不活性ガス不要
• ワンタッチで真空引きからコーティングまで実行
• 条件はライブラリーへ保存 (最大10個)
• サンプルは最大7個まで同時加工
• 低電流によるサンプルへのダメージ軽減
• Au,Ag,Ptによる成形(最大50mmφ)
• 本体＋ポンプ＋ターゲット1枚のセットで
  即日使用可能

参考動画

仕様

本体

外形寸法	350×210mm (H230mm)
本体重量	10kg
電源	110V±10%、50/60Hz
イオン電流	1～10mA (1mA / step)
スパッタ処理時間	1～600秒(1sec / step)※10mA 100秒で約15nmの成形
ターゲット材質	Au, Ag, Pt (50mmφ / 99.99%)
チャンバーサイズ	140mmφ(H100mm)
対応サンプルサイズ	50mmφ(H30mm)

真空ポンプ

型式	VPS100W
方式	ロータリー
到達圧力	2.0 X 10-1 Torr
排気速度	100L / min
電源	110V±10%、50/60Hz

お問い合わせ

個人情報保護方針(プライバシーポリシー)

• 個人情報に関する法令・規範を遵守します。
• 当社はお客様の個人情報への不正アクセス、紛失、破壊、改ざん及び漏洩等の防止に努めます。
• 個人情報は法令に基づき開示される以外は、個人情報をお客様に明示した利用目的の範囲内で取扱い、第三者に譲渡、提供はしません。
• 当社は個人情報保護に対する取組みを継続的に見直し、適宜改善します。