セミオート　マルチウエッジワイヤーボンダー

大型ワークにも対応した
セミオートマルチウエッジワイヤーボンダー

研究開発用から少量生産まで対応した
セミオート型マルチウエッジワイヤーボンダーです。

ループコントロール機構を
標準装備しておりますので
【操作性】【汎用性】だけでなく
【安定性】も実現しております。

サポート体制も充実、50年以上の信頼と実績に
裏付けされた技術力は他にはない、
安心したアフターフォローをお約束致します。

概要

モデル4546Eはセミオート型のマルチウエッジワイヤーボンダーです。
Y軸及びZ軸がモーター制御されており、ワイヤーボンディング時の
ループ形状を自由にコントロールすることができます。
それにより。狭ピッチボンディングや複雑化したレイアウトに対してのワイヤーボンディングに有効で
低ループ、高ループ、多層配線等にも作業者のスキルに影響されず
安定したボンディングを実現しました。

装置に内蔵されたCCDカメラユニットでボンディング対象を真上から確認
モニター上のボンディングポイントを指定してボンディングを行いますので操作性も抜群です。

3つのボンディングモード（マニュアル、セミオート、オート）を標準装備
組合わせて使用する事で、様々なアプリケーションにも柔軟に対応することができます。
装置筐体は□250mm以上の大型ワークに対応した筐体を採用、
他にはない広いワークエリアを実現しました。

ボンディングは超音波伝達効率が最も良いとされる45度ウエッジボンディングと
最大深度16mmまでの深打ちボンディングに対応した90度ディープアクセスウエッジボンディングの
2種類に対応しております。

ワイヤーの種類を選択することができ、金線、アルミ線をはじめ、銅線、銀線、プラチナ線、
ニオブ線等の特殊ワイヤーボンディングにも対応することが可能です。

ボンディングツールの変更でリボンボンディングにも対応できる拡張性も兼ね備えておりますので
各種半導体、MEMS、センサ、マイクロ波デバイス等、あらゆる場面でご活用頂く事が可能です。
特殊アプリケーションの一例については、以下をご参照下さい。

特長

ループコントロール機構
モーター制御されたY軸、Z軸により、低ループ、高ループ
多層ループなど、様々なアプリーケーションに対応した
ループ形状を実現することが可能。
ユーザーは最大9ポイントのループ設定を行う事が出来ます。
45度ウエッジボンディング
超音波伝達効率が最も良いとされる45度クランプを採用
ボンディング条件を低く抑えることが来ますので
対象ワークに対してのダメージを低減する事が出来ます。
90度ディープアクセスウエッジボンディング
最大深度16mmまでの深打ちボンディングに対応
箱型PKGや特殊PKGへのワイヤーボンディングに対応します。
広いワークステージ
□250mmの大型ワークに対応した筐体を採用
それに合わせたワークホルダー（治具）も作製可能です。
CCDカメラユニット
対象を真上から確認する為のCCDカメラユニットを標準装備
モニター上で対象ワークを確認できますので
実体顕微鏡下ではボンディングできないワークにも対応します。
ループプログラム設定
最大20まで設定可能
プログラム内にはType（最大14）、ワイヤー数（最大9999）の
設定が出来ますので、あらゆるアプリケーションに対応します
ファイヤリングスイッチ機構
接触圧力検知機能により、ボンディングツールに設定荷重が掛ると
自動で超音波を発振、印加を行いますので作業者は
ボンディング面の高さ調整を行う必要がありません。
ワークの厚さに関わらず、安定したボンディングを実現します。
デュアルフォース
1STボンドと2NDボンドの荷重を任意に調整する事が出来ます。
多様なボンディングサンプルへの条件設定に非常に有効です。
超音波ワイヤーフィード機構
超音波を印加しながらワイヤーフィードを行います。
ワイヤー供給時の引っ掛かりや詰まりを軽減する事が出来ますので
より安定したボンディングを実現しました。
スティッチボンディング（連続ボンディング）
作業者はボンド数を設定するだけで、
簡単にスティッチボンディング（連続ボンディング）を
行う事が出来ます。
ボンドカウンター
ボンディング数を最大30000ボンドまで
カウントする事が出来ます。
生産管理等を行う際に有効な機能です。
高い汎用性
銅線、銀線、Pt線等の特殊ボンディングにも対応可能です。
詳細についてはご相談下さい。
充実したサポート体制
高いスキルと充分な経験を持ったボンダー専門技術者が
納品後もサポートを行います。
お客様が長期に渡り、安定してご使用頂く事が出来る
サービス体制を整えております。
ランニングコストが安い
WEST・BOND社製品は全般的にランニングコストが安いです。

サポート

高いスキルと充分な経験を持った
ボンダー専門技術者が納品後もサポートを行います。
50年以上の経験と実績で他社にはない高い満足感を
得る事ができます。

修理/メンテナンス作業（旧型設備でも対応可能です）
条件出しのアドバイス
移設業務
オペレーショントレーニング作業
ワークホルダーの作製相談　等々

アプリケーション

45度　金線・アルミ線ウエッジボンディング
線径13μmΦ～50μmΦまでの金線及びアルミ線に対応
電極サイズ□50μmへのボンディングも実現可能です。
ボンディング条件を極限まで抑える事が出来ますので
評価用デバイスに最適です。
90度　金線・アルミ線ディープアクセスウエッジボンディング
最大深度16mmまでの深打ちボンディングが可能
箱型特殊PKGにも柔軟に対応する事が出来ます。
壁際へのボンディングにも対応できますので
高周波デバイス等に有効です。
プラチナ線（Pt線）ボンディング
Pt線を用いた特殊配線が可能
生体デバイス、高耐熱デバイス、ソフトマテリアルデバイス
ウェアラブルデバイス等、幅広く応用する事が出来ます。
リボンボンディング
W=300μmまでの金リボン、アルミリボンボンディングに対応
高周波特性の改善に適したリボンボンディングを
容易に行う事が出来ます。
Bump on Wire
評価解析に最適な特殊配線技術です。　
レベリング後のバンプ上にワイヤーボンディングを行います。
モデル7200CR　エポキシダイボンダーと併せての
ご利用を推奨しております。
Wire on Wire
故障解析に最適な特殊配線技術です。
研磨時に露出したワイヤー部分に対してアルミ線を配線します。
モールド樹脂に埋もれたワイヤーへの再配線は
ハイソルだけのオリジナル技術です。
Cu線、Ag線、被覆線等の特殊ワイヤーボンディング
Cu線、Ag線、Ni線、Nb線、被覆線等
特殊線材のボンディングが可能です。詳細は別途ご相談下さい。
TABボンディング
超音波を用いたTABボンディング実装にも対応します
TABツールの選定からご提案が可能です。
被覆線ボンディング
絶縁被覆されたワイヤーを用いた超音波ボンディングが可能です。
被覆線専用ツールと併せてご提案することが可能です。

装置外観

仕様

ボンディング方式	US／TC／サーモソニック方式
操作方法	X-Y　2軸マニピュレーター、Y軸、Z軸モーター駆動
ボンディングモード	マニュアルモード、セミオートモード、オートモード　選択可能
ボンディング種類	45度ウエッジボンディング（モデル4500E仕様）
ボンディング種類	90度ディープアクセスウエッジボンディング（モデル4600E仕様）
荷重	10g～200g（調整可能）
ワークサイズ	□300mmまで対応可能
ワイヤー	13μmΦ～50μmΦまでの金線、アルミ線
金リボン（4600E仕様）	W=50μm～300μm　t=20μm～30μm
アルミリボン（4600E仕様）	W=100μm～300μm　t=20μm～30μm
特殊ワイヤー	Ag線、Cu線、Pt線、Ni線、Nb線（別途ご相談下さい）
ワイヤーフィード角	45度、90度　選択可能
ループコントロール	標準装備　9ポイント設定
プログラム数	最大20プログラム
タイプ数	最大14
ワイヤー数	最大9999ワイヤー
周波数	63KHz
超音波パワー	最大4W
超音波タイム	最大999ms
ラジアントヒーター	ツール加熱機構　常温～200℃
スティッチボンディング	連続ボンディング機構　1ボンド~設定可能
デュアルフォース機構	1STボンドと2NDボンドの荷重を個別設定可能
インチングコントロールスイッチ	テール量の微調整が1ステップ単位で設定可能
ファイヤリングスイッチ機構	荷重を自動認識し超音波を発振します。
ボンドカウンター	最大30000ボンドまで設定可能