概要
超音波ウエッジワイヤーボンダー Eシリーズは垂直駆動のX-Y-Z 3軸マニピュレーター(特許)と広いワークエリアを持つ卓上型のマニュアル ウエッジワイヤーボンダーです。
基本的な操作、仕様、プログラム等はDシリーズと同等になりますが
250mm角以上の大型基板に適した装置となります。
装置ラインナップはアルミ線及び金線のウエッジボンディングが可能な45度フィードタイプ(7400E仕様)ディープアクセスウエッジワイヤーボンディング及びリボンボンディングが可能な90度フィードタイプ(7600E仕様)となります。
装置構成によってはモデル7700E ボールボンダーとの兼用機でのご提案も可能となっております。
特長
- 垂直駆動 新機構X-Y-Z 3軸マニピュレーター(特許)を用いた操作方法
- ボンディング面の高さ調整が不要なファイヤリングスイッチ機構を付属
- 1STボンドと2NDボンドの荷重を個別設定可能なデュアルフォース機構付属
- 最大300mmまでのワークサイズに対応可能
- アプリケーションにより45度フィード、90度フィード兼用可能
標準構成
- 本体部(モデル7476E 7400E仕様、7600E仕様)
- 電源部
- 顕微鏡部(実体顕微鏡・アーム・接眼レンズ・照明)
- ワークホルダー
- 温度コントローラー
- 自動ワイヤーディスプーラー
- 各種ワイヤー
- 各種ボンディングツール
- テンションゲージ
標準仕様
ボンディング方式 | US・TC又はサーモソニック方式 |
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操作方法 | 垂直駆動 X-Y-Z 3軸マニピュレーター(特許) |
荷重 | 約10g~250g(調整可能) |
ボンディングツール長 | 0.750インチ(約19mm) |
ボンディングツール径 | 1/16インチ(約1.58mm) |
対応ワイヤー | 7400E仕様 13μmΦ~50μmΦまでの金線・アルミ線 7600E仕様 13μmΦ~50μmΦまでの金線・アルミ線 W=50~300μm t=20~30μmまでの金・アルミリボン線 |
本体スプールマウント | 2インチ及び1/2インチスプールマウント |
周波数 | 63KHz |
超音波出力 | High Power設定時 最大4W Low Power設定時 最大2W 0~999目盛 1目盛単位で設定可能 |
超音波印加時間 | 0~999ms 1ms単位で設定可能 |
ワイヤーテールコントロール | テールスイッチによる調整(1ステップ単位) |
デュアルフォース機構 | 1stボンドと2ndボンドの荷重を各々設定可能 |
スティッチボンディング | 1~21ボンドまで設定可能(最大20ループまで設定可能) |
ボンドカウンター | 500~30000ボンド 500ボンド単位で設定可能 |
バッファー数 | 最大30(プログラム保存数) |
超音波ワイヤーフィード機構 | 超音波パワーと同じ |
ステージ寸法 | 標準テーブル(高さ調整なし) X=260mm Y=280mm |
エアーホース径 | 1/4インチ 又は 6x4mm(内径4mm)チューブ接続 |
ユーティリティー | 電源・電圧:100VAC、1.5A(付属品含め10A以内)、50/60Hz 3Pコンセント接続、エアー圧力:0.4Mpa以上 |
マシン寸法 | 本体部 610Wx540Dx450Hmm 電源部 225Wx205Dx76Hmm |
重量 | 約45kg |
オプション
- コンプレッサー
- ワークアジャスタブルテーブル
- 各種ワークホルダー
ボンダー総合カタログをご用意致しております。
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弊社(東京 御徒町)に各種デモ機をご用意致しております。
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