特長

• 急速加熱／急速冷却
  熱伝導性、熱放熱性に優れたセラミックヒーター
  （ALNセラミックヒーター）をワークホルダー内部に組み込むことで急速昇温、急速冷却を実現しました。
  冷却時は圧縮エアーをヒーター発熱体部位にダイレクトにパージさせる方法を採用
  放熱性能の高いALN（窒化アルミニウム）の性能と併せて非常に高い冷却性能を実現しております。
• 安定した表面温度精度
  熱膨張率が低く、温度変化に対する耐性が高い
  窒化アルミを使用することで高温時でも安定した表面温度精度を実現しております。
  ※参考値ALNの熱膨張係数4.6×10－6/K
• 優れた絶縁特性
  ALNセラミックヒーターは高温時の絶縁特性に優れております。
  ※参考値ALNの絶縁特性1014Ω/cm
• 高度に対応
  常温～450℃の高温に対応
  特注で600℃まで対応可能
  ※ヒーターの種類によります
• 窒素パージ（N2機構）
  窒素環境下でのダイボンディングが可能です。
  ガラスカバーの穴サイズはカスタマイズ可能です。
• 長寿命
  セラミックヒーターは耐熱衝撃性が優れておりますので長寿命です。

参考動画

パルスヒーターユニット動画

温度コントローラー画面、温度プロファイルのレシピ、AuSn共晶材が溶融する画面を一つに纏めた動画

＜条件＞
温度設定：常温～310℃
昇温スピード：100℃／秒
保持時間：10秒

パルスヒーターユニット動画

AuSn共晶材を用いてダイボンディングを行った場合の動画

＜条件＞
プリヒート設定：200℃
昇温スピード：20℃／秒
昇温上限温度：350℃
保持時間：5秒
窒素流量：4リットル～5リットル

仕様

対応設備	モデル7372Eでのご使用を推奨しております
ヒーターサイズ	□10mm、□14mm、□20ｍｍ等
温度範囲	常温～450℃
2インチチップトレー台	標準装備
ミラーユニット	標準装備
N2雰囲気機構	標準装備
その他	お客様の仕様に併せて設計製作しております

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