概要

モデル7372Eは共晶材（AuSn等）を用いてチップ実装する共晶ダイボンダーと
接着材（エポキシ材、銀ペースト等）を用いてチップ実装するエポキシダイボンダーの
2つの機能を装備した卓上型のマルチダイボンダーです。

垂直駆動の新機構X-Y-Z　3軸マニピュレーター（特許）を用いて作業を行いますので操作性にも優れており
機種変更も容易に行うことが出来ますので、研究開発から少量多品種の現場まで幅広くご使用頂けます。

装置構成上、奥行き方向に制限がありませんので大型基板（250mm角以上）にも対応しております。
スクラブ機能はスクラブの「回数」「幅」「スピード」を設定することができるメカニカルスクラブと
マニュアルスクラブに対応しております。

特長

• 垂直駆動　新機構X-Y-Z　3軸マニピュレーター（特許）を用いた操作方法
• エポキシダイボンダー、共晶ダイボンダー兼用マシン、機種変更も容易に行う事が可能
• ツール加熱機構を標準装備、より安定した共晶ダイボンディングを実現
• 接着材のディスペンス、スタンピングに対応
• チップローテーション機構付属（吸着したチップを360度自由に回転可能）

標準構成

• 本体部（モデル7372E）
• 電源部
• 顕微鏡部（実体顕微鏡・アーム・接眼レンズ・照明）
• ワークホルダー（常温型ワークホルダー、 N2雰囲気機構付属ワークホルダー）
• バキュームポンプ
• 接着材ディスペンス／スタンピングユニット
• 各種ピックアップツール（表面吸着コレット、角錐コレット）
• 温度コントローラー
• テンションゲージ

標準仕様

ボンディング方式	7316Eモード　共晶ボンディング方式（熱＋荷重＋スクラブ） 7200Eモード　荷重圧着方式
操作方法	垂直駆動　X-Y-Z　3軸マニピュレーター（特許）
荷重	10g～175g
ピックアップツール長	0.625インチ（約16mm）
ピックアップツール径	1／16インチ（約1.58mm）
チップローテーション	コントロールノブで360度回転可能
スクラブ機構（7316E）	自動荷重検知メカニカルスクラブ/マニュアルスクラブ
スクラブ方向(7316E）	オペレーターに対してX方向
スクラブモード(7316E)	Neg/Pos/Bothから選択可能 Neg　：センターから後方へのスクラブ Pos　：センターから前方へのスクラブ Both：センターから後方へスクラブしその後前方へスクラブ
ピックアップ方法	バキュームによるピックアップ
ピックアップ検知	手元スイッチ検知/接触圧力検知　選択可能
スクラブサイクル（回数）(7316E）	0～100サイクル　1サイクル単位で設定可能
スクラブストローク（幅）(7316E)	2～16Mil（約50～405μm）　1Mil単位で設定可能
スクラブレート（スピード）(7316E)	Fast/Medium/Slowから選択可能
ディレイビフォアスクラブ(7316E)	0~50000ms　100ms単位で設定可能
ダイパフタイム	0～25ms　1ms単位で設定可能
プリフォームパフタイム(7316E）	0～25ms　1ms単位で設定可能
エポキシフロータイム(7200E)	0~999ms　1ms単位で設定可能
ラジアントヒーター機構	ツール加熱機構（ヒーター設定温度は常温～200℃　巻き量による）
ステージ寸法	ワークアジャスタブルテーブル（標準装備ステージ寸法） X=260mm　Y=280mm　高さ調整機構付属 Z軸可変18mm（基準から+4.5mm、-13.5mm）
エアーホース径	1/4インチ　又は　6x4mm（内径4ｍｍ）チューブ接続
ユーティリティー	電源･電圧：100VAC･3A（付属品含め10A以内）3Pコンセント接続、周波数：50/60Ｈｚ エアー：0.4MPa以上、窒素：0.2MPa以上
マシン寸法	本体部　610Wx540Dx450Hmm 電源部　225Wx205Dx76Hmm
重量	約45kg

（※）記載の内容は予告なく変更することがございます。予めご了承ください。

オプション

• コンプレッサー（本体駆動用エアー源）
• 各種プリフォーム材
• 各種ピックアップツール
• 各種ワークホルダー

　　　　　　　　

デモ機のご案内

弊社（東京　御徒町）に各種デモ機をご用意致しております。
装置ご検討に際し、実際のマシンを操作しながらのお打合せが可能です。
ご希望の際にはお気軽にお申し付け下さい。

その他

ボンダー総合カタログをご用意致しております。
装置に関するお問い合わせは以下フォームまたはお電話下さい
電話番号：　03-3836-2800

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