製品案内
製品一覧
ボンダー製品
ワイヤーボンダー
マニュアルウェッジボンダー
卓上型マルチワイヤーボンダー(ボール&ウエッジ兼用型) MODEL-7KE
卓上型マニュアル ウエッジボンダー Eシリーズ ウエッジボンダー Eシリーズ
卓上型マニュアル ディープアクセス ウエッジボンダー MODEL-7476D(7600D仕様)
卓上型マニュアル ウエッジワイヤーボンダー MODEL-7476D(7400D仕様)
マニュアルボール&バンプボンダー
卓上型マルチワイヤーボンダー(ボール&ウエッジ兼用型) MODEL-7KE
卓上型マニュアル ボールワイヤー&バンプボンダー MODEL-7700D
セミオートワイヤーボンダー
セミオート マルチワイヤーボンダー(ボール&ウエッジ兼用型) MODEL-4KE
セミオート マルチウエッジワイヤーボンダー MODEL-4546E
卓上型マルチワイヤーボンダー(ボール&ウエッジ兼用型) MODEL-7KE
卓上型マニュアル ウエッジボンダー Eシリーズ ウエッジボンダー Eシリーズ
卓上型マニュアル ディープアクセス ウエッジボンダー MODEL-7476D(7600D仕様)
卓上型マニュアル ウエッジワイヤーボンダー MODEL-7476D(7400D仕様)
卓上型マルチワイヤーボンダー(ボール&ウエッジ兼用型) MODEL-7KE
卓上型マニュアル ボールワイヤー&バンプボンダー MODEL-7700D
セミオートワイヤーボンダー
セミオート マルチワイヤーボンダー(ボール&ウエッジ兼用型) MODEL-4KE
セミオート マルチウエッジワイヤーボンダー MODEL-4546E
セミオート マルチワイヤーボンダー(ボール&ウエッジ兼用型) MODEL-4KE
セミオート マルチウエッジワイヤーボンダー MODEL-4546E
ダイボンダー
エポキシダイボンダー
エポキシダイボンダー モデル7200CR
マニュアルエポキシ共晶ダイボンダー(兼用型)
マニュアル共晶ダイボンダー
エポキシダイボンダー モデル7200CR
マニュアル共晶ダイボンダー
各種ボンドテスター
マルチボンドテスター シグマ
ワイヤープルテスター モデル70PTE
特殊ボンダー(被覆線等)
被覆線・TAB・ビームリードボンダー モデル7440D / 7440E
結晶ピックアップマシン
アクセサリ&オプション
各種ワイヤー、プリフォーム材
卓上型UV硬化炉
プローバー製品
セミオートプローバー
200mm スタンダード セミオート・プローバー HSP-200 (8 inch)
300mm スタンダード セミオート・プローバー HSP-300 (12 inch)
高低温対応セミオート・プローバー HSP-200SC(8 inch)/HSP-300SC(12 inch)
小径ウェハ対応セミオート・プローバー HSP-100(4 inch)/HSP-150(6 inch)
小型高低温セミオート・プローバー HSP-100SC(4 inch)/HSP-150SC(6 inch)
ダブルサイド セミオート・プローバー HSP-150DS(6 inch)/HSP-200DS(8 inch)
グローブボックス対応セミオート・プローバー HSP-100GB(4 inch)
真空セミオート・プローバー HSP-V150(6 inch)/HSP-V200(8 inch)
ウェハレベル極低温セミオート・プローバー CPS-XXX-CF-PLUS
超高温 真空プローバー CPS-HT/CPS-HT-PLUS
3D磁場セミオート・プローバー (大気圧) MPS-C-350-PLUS
真空セミオート・プローバー(MicroXact) SPS-2600-PLUS-VAC/SPS-2800-PLUS-VAC
マニュアルプローバー
小型マニュアル・プローバー HMP-400(4 inch)/HMP-600(6 inch)
簡易型マニュアル・プローバー HMP-200E(2inch)
200mm スタンダード マニュアル・プローバー HMP-800 (8 inch)
300mm スタンダード マニュアル・プローバー HMP-1200 (12 inch)
高低温対応マニュアル・プローバー HMP-810SC(8 inch)/HMP-1210SC(12 inch)
シールドボックス付 マニュアル・プローバー HMP-410IS(4 inch)
高低温対応 小型マニュアル・プローバー HMP-410SC(4 inch)/HMP-610SC(6 inch)
フラットパネルディスプレイ対応マニュアル・プローバー HMP-FPD series
米国 MicroXact 社 スペシャリティプローバー(真空・極低温・超高温・磁場印可)
ウェハレベル極低温セミオート・プローバー CPS-XXX-CF-PLUS
超高温 真空プローバー CPS-HT/CPS-HT-PLUS
無冷媒 極低温プローバー CPS-XXX-CF
極低温 磁気プローバー SCM-CF-XX
3D磁場マニュアル・プローバー (大気圧) MPS-C-300/MPS-C-350
3D磁場セミオート・プローバー (大気圧) MPS-C-350-PLUS
真空セミオート・プローバー(MicroXact) SPS-2600-PLUS-VAC/SPS-2800-PLUS-VAC
真空プローバー
小型真空マニュアル・プローバー HMP-V80 series
真空セミオート・プローバー HSP-V150(6 inch)/HSP-V200(8 inch)
ウェハレベル極低温セミオート・プローバー CPS-XXX-CF-PLUS
超高温 真空プローバー CPS-HT/CPS-HT-PLUS
無冷媒 極低温プローバー CPS-XXX-CF
極低温 磁気プローバー SCM-CF-XX
真空セミオート・プローバー(MicroXact) SPS-2600-PLUS-VAC/SPS-2800-PLUS-VAC
磁気デバイス評価用プローバー
極低温 磁気プローバー SCM-CF-XX
3D磁場マニュアル・プローバー (大気圧) MPS-C-300/MPS-C-350
3D磁場セミオート・プローバー (大気圧) MPS-C-350-PLUS
オプトデバイス評価用プローバー
4探針プローバー
プローバーオプション
フリップチップボンダー
ランプアニール装置・高速熱処理装置(RTP/RTA装置)
大気圧ランプアニール装置(RTP・RTA) AccuThermo AW610M (6インチ対応)
大気圧ランプアニール装置(RTP・RTA) AccuThermo AW820M (8インチ対応)
真空ランプアニール装置(RTP・RTA) AccuThermo AW820V (8インチ対応)
ラッピング・ポリッシング装置
PM6/LP70シリーズ
卓上型精密研磨装置 PM6/LP70
Tribo/Orbisシリーズ
DL1/DP1シリーズ
WSB2 ウエハーボンディング装置
ケミカルポリッシング装置
ケミカルポリッシング装置 CP3000/4000
ウエハー洗浄装置
卓上型ウエハー洗浄装置 ParticleCleanシリーズ
ウエハーパーティクル検査装置
ウエハーパーティクル検査装置 YPI-MX / YPI-MN
切断装置
アプリケーション
信頼性・ストレス試験装置
EMS受託加工
ICソケット(バーンイン・テスト)
プラズマクリーナー・シラン成膜装置・真空オーブン
真空ガス置換ポリイミドキュアオーブン 450PB
卓上型シランCVD成膜装置 EcoCoat(エココート)
プラズマストリッパー・デスカム装置 CV200RFS
卓上型真空ベーク・HMDS蒸着装置 310TA / 58TA
プラズマクリーナー G1000
卓上型マニュアル劈開装置 LatticeAx
その他
イオンスパッタ装置 G20
小型高周波誘導加熱装置 MU-α Series
UV(紫外線)殺菌装置 UV SAKKIN
精密スピンコーター ACE-200 / TOP-8
卓上型真空ガス置換電気炉 VF-3000A
計測器・測定システム
故障解析装置
レーザー微細加工装置
枚葉式処理装置
枚葉式ウェット処理装置・超音波機能付き Spin/Dip®枚葉処理装置
枚葉式ウェット処理装置 Spin型枚葉処理装置