各種 受光デバイス、発光デバイス 評価用プローブ・システム
各種 受光デバイス、発光デバイスの光学的特性、電気的特性をオンウェハまたはチップ状態で測定可能なシステムを設計製作でご提供させていただきます。
研究開発用のコンパクトなマニュアルシステムから、ウェハ面内自動測定に対応したセミオート・システムまで、お客様のアプリケーションに最適なオプトデバイステストシステムをご提供いたします。
アプリケーション
- LED、マイクロLED、VCSEL、レーザーダイオード、有機ELなど発光素子の特性評価
- 光センサー、CMOSセンサー、太陽電池など受光素子の特性評価
システム構築例
セミオート受光素子I-V・C-V
テストシステム（6インチφ）
顕微測光鏡筒搭載セミオートプローブシステム
VCSEL素子評価用（2インチφ）
ウェハ表面へのレーザー照射
（同軸観察対応）
2ポートRF測定 + 側面（端面）光ファイバー
調芯（5軸手動）, ペルチェ温調付き
2ポートRF測定 + バックサイド光ファイバー
調芯（3軸ピエゾモーターステージ）
ダブルサイド マニュアルプローバー
受発光素子テスト仕様（3インチφ）
ダブルサイドセミオートプローブシステム
受光素子評価用（8インチφグリップリング）
チップトレイやゲルバックに搭載された個片デバイスの自動測定
不良ダイマーキング対応
（インカー）
システムインテグレーション
ハイソルプローブ・システムと各種計測機器をインテグレーションし、統合した測定システムとしてワン・ストップ・ソリューションでご提供させて頂きます。
ハーネス、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに最適な測定システムをご提案いたします。
インテグレーション実績有 計測器メーカー様
（順不同、敬称略）
- キーサイト・テクノロジー(株)
- テクトロニクス / ケースレーインスツルメンツ
- (株)エヌエフ回路設計ブロック
- ローデ・シュワルツ・ジャパン(株)
- 日置電機(株)
- 岩崎通信機(株)
- (株)エーディーシー
- (株)テクシオ・テクノロジー
他 多数
インテグレーション実績有 ユニットメーカー様（順不同、敬称略）
HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株） 他 多数
カタログダウンロード（PDF）
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