高低温対応マニュアル・プローバーHMP-810SC（8 inch）／HMP-1210SC（12 inch）

-60℃～+400℃の温度特性評価、ウェハレベル信頼性試験

HMP-810SC・HMP-1210SC マニュアル・プローバーは最大8インチ（200mm）または最大12インチ（300mm）ウェハの測定に対応するシールドチャンバー仕様のマニュアルプローブシステムです。

剛性が高く繰り返し精度に優れたメカ機構、直感的で簡単な操作性、高精度測定を特徴とし、信頼性の高いオン・ウェハ測定をサポートします。

容積の小さい超低ノイズシールドチャンバー構造を採用しており低露点ドライエアやN2等の不活性ガスをパージしながら各種電気的測定に対応できます。

また、チャンバー開放を行わない状態で、顕微鏡操作、ポジショナ操作、チャックステージの移動操作、コンタクト・セパレーション操作が可能です。

温度制御範囲 -60℃ ～ +300℃（特殊オプション+400℃）の高低温チャックを組み込むことができ、高低温特性試験に対応できます。

・ HMP-810SC：8インチ (φ200mm) 対応
・ HMP-1210SC：12インチ (φ300mm) 対応

アプリケーション

  • -60℃/-40℃～+200℃/+300℃ の温度特性試験
  • N2、Ar等不活性ガス環境下でのテスト（露点温度-70℃以下、残留酸素濃度100ppm以下）
  • 微小信号I-V測定（fAレベル）
  • 各種C-V測定（Quasi-Static C-V, HF-CV, RF-CV）、インピーダンス特性評価
  • RF測定（～67GHz）※オプション：sub THz帯域 RF測定
  • 超高速I-V測定
  • ハイパワーデバイス測定（200A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kV coaxial）
  • プローブカード対応（マルチサイトWLR対応可）

拡張アプリケーション

  • 1/f ノイズ評価、RTN（ランダムテレグラフノイズ）評価
  • オプトエレクトロニクス（LED, LD, VCSEL, PDなど）の受発光特性評価アプリケーション
  • sub THz帯域 RF測定・ロードプル測定
  • ウエハレベル信頼性試験（EM, TDDB,HCI, NBTI,BTなど）※240時間以上の連続試験可能

システム例


HMP-810SC 200mm（8inch）システム

HMP-1210SC 300mm（12inch）システム
（XYデジタルリードアウト付き)

DCプローブ×4，RFプローブ×2(EAST/WEST)
FETプローブ×1 構成

+300℃対応 マルチサイトWLR
プローブカード搭載

-60℃～+300℃ ウェハチャック搭載
(プルアウト機構による安全なウェハ交換)

ハイパワーデバイス温度特性評価
(-60℃～+300℃，10kV I-V，3kV C-V，200A)

代表仕様

項目 HMP-810SC HMP-1210SC
ステージXY移動範囲（粗動） X : 210mm, Y : 210mm X : 310mm, Y : 310mm
ステージXY移動範囲（微動） 同上 同上
ステージθ移動範囲 ±5°
プラテンZ軸アクション 0 –0.3mm
ステージZ軸調整範囲 0 ～20mm
システム寸法（W×D×H）※ 960 ×980 ×1550 mm 1100 ×1000 ×1550 mm
システム重量※ 約750 kg 約870 kg

※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

オプション

掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。

ポジショナ（マニピュレータ）
プローブ・プローブアーム
プローブ・チップ
ウェハ・チャック
マニュアルプローバー用シールド遮光ボックス

システムインテグレーション

ハイソルプローブ・システムと各種計測機器をインテグレーションし、統合した測定システムとしてワン・ストップ・ソリューションでご提供させて頂きます。

ハーネス、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに最適な測定システムをご提案いたします。

インテグレーション実績有 計測器メーカー様

（順不同、敬称略）

  • キーサイト・テクノロジー(株)
  • テクトロニクス / ケースレーインスツルメンツ
  • (株)エヌエフ回路設計ブロック
  • ローデ・シュワルツ・ジャパン(株)
  • 日置電機(株)
  • 岩崎通信機(株)
  • (株)エーディーシー
  • (株)テクシオ・テクノロジー
    他 多数

インテグレーション実績有 ユニットメーカー様（順不同、敬称略）

HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株）　他 多数

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