ウエハ歪み(位相差・位相軸方位)の全面評価
独自の偏光カメラを使用することでウエハの全面評価を短時間でかつ定量評価することが可能な装置です。
ウエハの内部歪み・加工応力の定量化ができます。
対象となるウエハは、SiC、GaN、人工ダイヤモンドウエハ。
GaAsウエハも赤外線波長を使用することで、測定可能（PA-300-NIR）。
概要
- 屈折率・位相差分布を500万画素の高解像度による測定
- 独自の偏光カメラによるウエハ全面の面内分布を高速測定
- 独自ソフトフェアによる多彩なグラフ表示・解析が可能
- ウエハ以外に、ガラス製品、レンズなどの小さな位相差も測定対象
測定事例
SiCウエハの測定
SiC 8inch（オフ角 4度）
GaNウエハの測定
GaN 3inch 位相差表示
GaN 3inch 結晶軸方位
人口ダイヤモンドウエハの測定
モノクロ輝度画像
結晶欠陥データ
GaAsウエハの測定
GaAs 位相差表示
主な仕様
| PX-300-XL | PA-300-L | PA-Micro | |
|---|---|---|---|
| 特徴 | A3サイズまで測定 | A4サイズまで測定 | 顕微鏡視野まで測定 |
| 測定視野 | 242×290 mm ～ 360×480 mm |
37×44 mm ～ 240×320 mm |
140×170 µm ～ 3.5×4.2 mm |
| オプションレンズ視野 | 対応不可 | ズーム 5.5×6.6 mm ～ 25×30 mm |
×100 40×53 µm |
| 出力される数値 | 位相差(nm)・軸方位(°) | ||
| 測定レンジ | 0～130 nm | ||
| 繰り返し再現性 | σ < 0.1 nm | ||
| 測定波長 | 520 nm | ||
| 筐体サイズ | 650×600×1930 mm | 430×487×1166 mm | 270×500×610 mm |
| 重量 | 46 Kg | 23 Kg | 18 Kg |
| 構成 | 本体 PC(ソフトウェアインストール) 説明書など書面 ※PA-microの場合、顕微鏡一式 |
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