200mm スタンダードマニュアル・プローバー

200mm（8インチ）マニュアル・プローバーのスタンダードモデル

HMP-800 マニュアル・プローバーは最大8インチ（200mm）ウェハの測定に対応するスタンダードタイプのマニュアルプローブシステムです。
剛性が高く繰り返し精度に優れたメカ機構、直感的で簡単な操作性、高精度測定を特徴とし、信頼性の高いオン・ウェハ測定をサポートします。
自由度の高い柔軟な設計コンセプトおよび、多彩なオプションを取り揃えており、微小信号I-V・C-V測定、インピーダンス特性評価、ハイパワーデバイス測定、sub THz帯域のRF測定、オプトエレクトロニクス測定等の幅広いアプリケーションに対応可能な拡張性に優れたシステムです。

温度制御範囲 +15℃～+300℃ (特殊オプション+400℃) の高温チャックを搭載することが可能です。

アプリケーション

+15℃/+25℃～+200℃/+300℃ の温度特性試験
微小信号I-V測定（fAレベル）
各種C-V測定（Quasi-Static C-V, HF-CV, RF-CV）、インピーダンス特性評価
RF測定（～67GHz）※オプション：sub THz帯域 RF測定
超高速I-V測定
ハイパワーデバイス測定（200A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kV coaxial）
プローブカード対応（マルチサイトWLR対応可）

拡張アプリケーション

金属顕微鏡、アクティブ除振台、超高精度ステージ搭載によるサブミクロン精度プロービング
レーザーカッターの搭載（ポイントマーキング,保護膜剥離,配線カット）
オプトエレクトロニクス（LED, LD, VCSEL, PDなど）の受発光特性評価アプリケーション
sub THz帯域 RF測定・ロードプル測定
フラットパネルディスプレイデバイスのテスト
ウエハレベル信頼性試験（EM, TDDB,HCI, NBTI,BTなど）

システム例

HMP-800EA
PADプロービング対応実体顕微鏡モデル

HMP-800HS
サブミクロンプロービング金属顕微鏡モデル

HMP-800EA 実体顕微鏡モデル
架台付きシールド遮光ボックス対応

HMP-800HS 金属顕微鏡モデル
除振システム付きシールド遮光ボックス対応

高精度ポジショナ最大8台搭載可能
（小型ポジショナは最大10台搭載可能）

室温～+200℃/+300℃ 高温チャック、または
+15℃～+120℃ 加吸熱チャック搭載可能

仕様

項目	仕様
ステージXY移動範囲（粗動）	X：210mm，Y300mm，エアフロートフリーアクセス
ステージXY移動範囲（微動）	XY 各6.5mm，マイクロメータヘッド
ステージθ移動範囲	粗動 ±30°, 微動 ±2.5°
プラテンZ軸アクション	0 – 10mm, レバー操作フリー固定
ステージZ軸調整範囲	0 ～ 25mm
外形寸法・重量（HMP-800EA）※	W660×D600×H550mm・約90kg
外形寸法・重量（HMP-800HS）※	W760×D700×H650mm・約130kg