ウェハレベル極低温セミオート・プローバー

大口径ウェハ対応
クローズドサイクル冷凍機(CCR)搭載
セミオートプローバー

　モデルCPS-XXX-CF-PLUSは、9K(シングルCCRシステム)、4.5K(デュアルCCRシステム)、さらには4K以下(トリプルCCRシステム)までの極低温でウェハとデバイスの迅速かつ費用対効果の高いテストを可能にします。

　オプションのロードロック機能を備えた100mm、150mm、200mmウェハ全面を自動テストするためのシステムを提供しています。

　システムは、個々のプローブヘッド (同軸、トライアキシャル、RFプローブ、ウェッジプローブ対応) またはプローブカードホルダを使用して構成できます。100以上のDCプローブによる高密度プロービングや67GHz RFテストに対応することができます。

　モデルCPS-XXX-CF-PLUSは、量子コンピューティングなどのの新興分野だけでなく、超伝導エレクトロニクスの確立された分野にも理想的なシステムです。

モデルCPS-XXX-CF-PLUS 代表仕様

特長

– 費用対効果・安定性・信頼性が高く、操作性に優れた製品です。
– 100 mmウェハ・150 mmウエハ・200 mmウェハの自動面内測定に対応
– クローズドサイクル冷凍機による液体ヘリウムフリー運転
– fAレベル・fFレベルの微小信号I-V・LCR測定
– DC ~ 67 GHzのRF測定
– 4台のマイクロマニピュレータ付きプローブアーム
　最大8台まで対応可能(オプション)
– クライオジェニックプローブカード対応可能(MUX / DeMUX組み込み可能)
– マルチコンタクトプローブ対応可能(DC / RF)
– プローブヘッドのサーマルアンカー対応
– 温度管理された放射シールド
– 業界標準レベル以下の防振性能(チャック部の振動 <±1 μm)
– お客様の複雑な測定ニーズにお応えする高度なカスタマイズ対応

システム製作例

Model CPS-100-CF-PLUS

100mmウェハ対応
シングル CCR デザイン
チャックベース温度：9 K ～ 350 K
プローブマニピュレータ数：6台
　　67GHz RFプローブヘッド×2，DCプローブ×4

Model CPS-100D-CF-PLUS

100mmウェハ対応
Dual CCR デザイン
チャックベース温度：5 K ～ 350 K
プローブマニピュレータ数：4台
　　RFプローブヘッド，DCプローブ

Model CPS-150T-CF-PLUS

150mmウェハ対応
Triple CCR デザイン
極低温プローブカード仕様
チャックベース温度：2.89 K ～ 350 K
プローブカード (100pin) ベース温度：6.2 K

Model CPS-200D-CF-PLUS

200mmウェハ対応
Dual CCR デザイン
チャックベース温度：5 K ～ 350 K
マルチコンタクトRFプローブ 20GHz（32 probe）
磁気シールド対応
プローブマニピュレータ数：4台

Model CPS-200T-CF-PLUS

200mmウェハ対応
Triple CCR デザイン
トライアキシャルチャック
チャックベース温度：10 K ～ 350 K
プローブマニピュレータ数：6台
　　67GHz RFプローブヘッド×2，Triaxialプローブ×4

Model CPS-100-CF-PLUS-77K

100mmウェハ対応
Single CCR デザイン
チャックベース温度：77 K ～ 480 K
プローブマニピュレータ数：5台
　　Kelvinプローブヘッド×2，Triaxialプローブ×2
　　光ファイバープローブ×1（受発光デバイス結合）

XactTest™ プローブシステム自動化ソフトウェア・ソリューション

　MicroXact XactTest™ ソフトウェアは、迅速で簡単なセットアップで、一度マニュアルでアライメントしたウェハ全体を無人でテストすることを可能にします。

　インターフェイスはシンプルで使い勝手よく設計されており、ユーザーはほぼすべての種類のデバイスに対して自動テスト手順を簡単に設定できます。

　LabViewベースのXactTest™ ソフトウェアはオープンソースかつソリューションが論理的に構成されており、XactTest™ソフトウェアのフレームワーク内、または豊富なSCPIコマンドライブラリを使用して、プローブステーションの制御と、お客様独自のテストおよび計測機器の容易な統合を可能にします。

　MicroXactの専門家チームは、お客様と直接連携し、システムのハードウェアとソフトウェアを独自のテスト仕様にカスタマイズすることができます。

仕様

サンプルサイズ	– φ100 mm(標準)，φ150 mm(オプション)，φ200 mm(オプション)
温度制御範囲	– スタンダード：10 K ～ 350 K – カスタム：低温側 4 K以下（マルチCCR），高温側～ 480 K / 680 K 　* 温度範囲は使用するプローブ、チャック構造、高温側仕様により制限が発生する場合があります。詳細はお問い合わせください。
温度制御	– 冷却方式:無冷媒クローズドサイクル冷凍機(空冷または水冷) – 加熱方式:ヒーター – チャック部温度精度・安定性:±100 mK – コントローラー温度分解能:1 mK – サーマルアンカー付きプローブアーム，放射シールド – 温度測定箇所:チャック部・プローブアーム・放射シールド(オプション)・冷凍機コールドヘッド(オプション)
到達真空度	– 10^-3 Pa（オプション 10^-5 Pa）*低温制御時
ウェハチャック	– 接地型（GND） – 絶縁型（フローティング） – コアキシャル – トライアキシャル　　* 接地型以外は温度制御範囲に制限が発生します。 – 平面度：＜ 10 μm – チャックトップ材質：無酸素銅金めっき処理（標準）
プローブ	– DCプローブ（同軸，トライアキシャル） – RFプローブ（67 GHzまで） – マルチコンタクトプローブ（DC，RF） – プローブカード（MUX、DEMUXモジュール組み込み可能） – 光ファイバープローブ
プローブマニピュレータ	– 真空ベローズ導入 – XYZ電動，分解能＜ 3 μm（それ以下の分解能はオプション），システムの構成により各種ストロークに対応 – マニピュレータ数：4台（標準）最大 8台まで対応可能 – RFプローブ・マルチコンタクトプローブ用のθ調整機構（オプション）
チャックXYステージ	– 100 mmモデル：X 100 mm × Y 100 mm ストローク – 150 mmモデル：X 150 mm × Y 150 mm ストローク – 200 mmモデル：X 200 mm × Y 200 mm ストローク – 分解能：1.5 μm，繰り返し精度：±7.5 μm
チャックZステージ	– Z 12.5 mm – 分解能：0.1 μm，繰り返し精度：±1.0 μm
チャックθステージ	– マニュアル：θ ±5° – 電動（オプション）：θ ±5°，分解能：＜ 0.004°
光学系	– ビューポート窓材:溶融石英，カスタム素材やコーティング処理も可能 – ビューポート追加:オプションで対応可能 – 解像度 4 μm以下の各種ズーム鏡筒(Qioptic またはNavitarが標準) – 同軸落射照明またはLEDリング照明 – 顕微鏡XYZ移動機構:スライド式フリーアームまたは電動(オプション) – プログラマブルコールドシャッター(オプション)
カメラ	– 1M～10Mピクセルデジタルカメラより選択
除振機能	– 空気ばね式除振機構を装備 – チャック部の振動：＜±1 μm
磁気シールド	– Mu-Metalパッシブ磁気シールド(オプション) – テストエリア周辺の非磁性化対応(オプション)
ソフトウェア	– MicroXact XactTest™ ソフトウェア
通信インターフェイス	– GP-IB，USB，RS-232

●システムの構成により仕様に変更・制限が入る場合があります。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。

　MicroXact社は米国バージニア州に拠点を置く、真空・極低温・超高温・磁場印可をキーワードとしたユニークかつ先進的なプローブ・システムを製造・販売する企業です。2004年の設立以来、現在までに25以上の国と地域に納入実績があり、超伝導エレクトロニクス、量子コンピューティング、スピントロニクス、グラフェン、ナノエレクトロニクスなどの科学研究のイノベーションをサポートし続けています。
　ハイソル株式会社は、MicroXact社製品の日本総代理店です。