小径ウェハの-60℃～+400℃の温度特性評価、ウェハレベル信頼性試験
剛性が高く位置決め精度・繰り返し精度に優れたメカ機構、直感的で簡単な操作性、先進の制御ソフトウェア、低ノイズ高精度測定を特徴とし、信頼性の高いセミオート オン・ウェハ測定をサポートします。
シールドチャンバー構造による完全なEMIシールド環境内に、プローブおよびチャックが収納されており、温度制御範囲-60℃～+300℃の高低温環境下で、微小信号I-V・C-V測定、インピーダンス特性評価、ハイパワーデバイス測定、sub THz帯域のRF測定、オプトエレクトロニクス測定 等の幅広いアプリケーションに対応可能です。
・ HSP-100SC：4インチ (φ100mm) 対応
・ HSP-150SC：6インチ (φ150mm) 対応
アプリケーション
- -60℃/-40℃～+200℃/+300℃ の温度特性試験
- N2、Ar等不活性ガス環境下でのテスト（露点温度-70℃以下、残留酸素濃度100ppm以下）
- 微小信号I-V測定（fAレベル）
- 各種C-V測定（Quasi-Static C-V, HF-CV, RF-CV）、インピーダンス特性評価
- RF測定（～67GHz）※オプション：sub THz帯域 RF測定
- 超高速I-V測定
- ハイパワーデバイス測定（200A Pulse, ±3kV triaxial, ±10kV coaxial）
- プローブカード対応（マルチサイトWLR対応可）
拡張アプリケーション
- 1/f ノイズ評価、RTN（ランダムテレグラフノイズ）評価
- オプトエレクトロニクス（LED, LD, VCSEL, PDなど）の受発光特性評価アプリケーション
- sub THz帯域 RF測定・ロードプル測定
- ウエハレベル信頼性試験（EM, TDDB,HCI, NBTI,BTなど）※240時間以上の連続試験可能
システム例
最大8台のプローブヘッド搭載対応。 拡張性に優れたプラテン構造
+300℃対応 マルチサイトWLR
プローブカード搭載
-60℃～+300℃ ウェハチャック搭載可能
プルアウト機構による簡便・安全なウェハ交換
67GHz 4ポートRF測定対応
+ エッジセンサユニット
コンパクト・省フットプリント筐体
（レイアウトカスタマイズ対応可）
シンプルかつ操作性に優れた
ペリフェラルコントローラー
-60℃/-40℃～+200℃/+300℃
超ローノイズ高低温チャック搭載可能
セミオートプローバー制御ソフトウェア
マニュアル操作画面
オート(自動運転)画面
ウェハマップ設定画面
画像認識設定画面
BINマッピング- 最新の高性能・多機能セミオートプロービングソフトウェア。
- OSはWindows IoT Enterprise LTSB に対応。(長期サポート対応）
- 操作性に優れたシングルウィンドウオペレーション。
- メガピクセル撮像カメラ対応。
- ソフトウェアGUIまたはペリフェラルコントローラにより、マニュアルプローバーとしてもご使用可能。
- 上位測定器やPCからGP-IBコマンドで、またはPC内にインストールされた測定器制御ソフトウェアからファイル渡しでの自動制御、自動運転に対応します。
- 上位ソフトウェアからBIN情報を受け取ることでウエハ面内BINマッピング表示に対応。
- 画像認識およびオートフォーカス制御によるX-Y-θ-Zアライメントに対応可能。（オプション）
- 各測定器で取得された測定生データを解析するための、データベース化、パラメータ抽出ソフトウェアを提供できます。（オプション）
- ソフトウェアは自社開発で、カスタマイズ要求を組み込むことが可能です。
代表仕様
| 項目 | HSP-100SC | HSP-150SC |
|---|---|---|
| 対応ウエハサイズ | ～φ100mm | ～φ150mm |
| ステージXY移動範囲 | X：110mm, Y：110mm | X：160mm, Y：160mm |
| ステージXY繰り返し精度 | ＜±2um | |
| ステージXY位置決め精度 | ＜±5um | |
| ステージZ移動範囲 | 20mm | |
| ステージZ繰り返し精度 | ＜±1um | |
| ステージθ移動範囲 | ±7.5° | |
| ステージθ位置決め分解能 | 0.0002° | |
| システム寸法（W×D×H）※ | 1300×720×1600 mm | 1300×750×1600 mm |
| システム重量※ | 約700kg | 約800kg |
※システムの構成により変動します。
●記載の仕様は予告なく変更される場合があります。
ハードウェア オプション（代表）
- オートフォーカス機能
- アクティブ・クーリング機能（温度特性試験時のプローブ・チャック熱ドリフト低減）
- 顕微鏡 X-Y 電動ステージ（ソフトウェア制御）
- 顕微鏡 電動ズーム、電動フォーカス機能（ソフトウェア制御）
- プローブ自動クリーニング機能
- エッジセンサーユニット（プローブコンタクト高さ 面内 ±1umで制御）
- インカーユニット（ダイマーキング）
- セーフティ・ライトカーテン（追加インターロック機能）
- 超ローノイズ仕様（1/fノイズ、RTN測定に対応）
ソフトウェア オプション
- パターンマッチング 画像認識機能（XYθ位置補正）
- 測定器制御ソフトウェア（要ご相談）
標準的な自動測定対応ソフトウェア
| キーサイト・テクノロジー | ・EasyEXPERT group+ ・WaferPro Express ・SPARK 他 |
|---|---|
| テクトロニクス / ケースレーインスツルメンツ | ・4200A-SCS KITE (Keithley Interactive Test Environment) ・ACS |
| ProPlus Design Solutions | ・Noisepro |
※その他、GP-IB通信対応ソフトウェアで制御可能です。
オプション
掲載製品以外のオプション製品も多数ご用意しております。ご要望のアプリケーションをご相談ください。
システムインテグレーション
ハイソルプローブ・システムと各種計測機器をインテグレーションし、統合した測定システムとしてワン・ストップ・ソリューションでご提供させて頂きます。
ハーネス、アクセサリ、カスタムソフトウェア等、お客様のご要求アプリケーションに最適な測定システムをご提案いたします。
インテグレーション実績有 計測器メーカー様
（順不同、敬称略）
- キーサイト・テクノロジー(株)
- テクトロニクス / ケースレーインスツルメンツ
- (株)エヌエフ回路設計ブロック
- ローデ・シュワルツ・ジャパン(株)
- 日置電機(株)
- 岩崎通信機(株)
- (株)エーディーシー
- (株)テクシオ・テクノロジー
他 多数
インテグレーション実績有 ユニットメーカー様（順不同、敬称略）
HOYA(株)、ブイ・テクノロジー(株)、朝日分光(株)、浜松ホトニクス(株)、エヌピイエス(株） 他 多数
ハイソル 自動測定対応ソフトウェア
ハイソル セミオートプローバーと各種測定器を自動制御するカスタムソフトウェアをご提供します。
お客様のご要求測定アプリケーションに最適な自動測定ソフトウェアを製作構築させて頂きます。
ソフトウェア製作事例
DCパラメトリック自動測定ソフトウェア
（スイッチング・マトリクス制御対応）
RF・Sパラメーター自動測定ソフトウェア
（SOLT / LRM 自動キャリブレーション対応）
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