故障解析用途に最適な卓上型のワイヤーボンダー、ダイボンダーです。
X-Y-Z　3軸マニピュレーター（特許）を用いた操作の為
パッケージ開封時における様々なトラブルにも対応可能です。

お客様は本装置を使用することにより
今まで諦めていたサンプル（ワーク）に対しての対応が可能となります。

＜例＞

• • 電極再生（パッド再生）
  • Wire on Wire
  • Bump on Wire
  • ペースト配線

等々

故障解析時の具体的事例

Wire On Wire

研磨時に露出したワイヤー部分に対して
アルミ線ウエッジボンディングを行う手法です。

モールド樹脂に埋もれたワイヤーへの再配線は
ハイソルだけのオリジナル技術です。

使用機材　MODEL-7476D(7400D仕様）

ワイヤー切断/バンプ切断

非常に切れ味の良い「特殊超硬カッター」を用いて
ワイヤー切断/バンプ切断を行います。
再配線前のワイヤー除去や再配線用のAu電極の確保等に
ご使用頂くことができます。

操作はX-Y-Z　3軸マニピュレーターを使用
更に超硬カッター回転機構も付属しておりますので
ワイヤーにストレスを掛けずに切断を行うことが可能です。

使用機材　MODEL-7200CR

レベリング

先端径0.15mmの「バンプスタンピングツール」を
用いてAuバンプのレベリングを行います。

レベリング時の圧力も自由に調整できますので
バンプの高さ管理も容易です。

使用機材　MODEL-7200CR

Bump On Wire

切断及びレベリングを行ったAuバンプ上に
アルミ線でウエッジボンディングを行うことが可能です。

対象電極に対しての負荷が非常に少ないため
評価解析時の再配線技術として良くご使用頂いております。

使用機材　MODEL-7476D(7400D仕様）

AuバンプトップへのAlウエッジワイヤーボンディング

研磨時に露出したAuバンプのトップ部分への
Alウエッジワイヤーボンディング技術です。
2NDボンド部分をAuバンプのトップにすることで、
直径18μm～の範囲でも配線を行うことが可能です。

ボンディング部補強、ワイヤー位置調整、Au電極作製技術と
併用することで様々な場面でご活用頂くことができます。

使用機材　MODEL-7476D(7400D仕様）

狭ピッチAlウエッジワイヤーボンディング

狭ピッチのアルミ線ウエッジワイヤーボンディング技術です。
千鳥ボンディングを行い、ワイヤー位置調整技術と併用することで50μmピッチでも対応可能となります。

評価解析サンプルの再実装時にとても役立つ作業の一つであり
多くのユーザー様からご要求頂く工法となります。

使用機材　MODEL-7476D(7400D仕様）

ワイヤー位置調整

X-Y-Z　3軸マニピュレーターと極細特殊タングステン針を
併用することで、再配線後にワイヤーにストレスを掛けることなく位置調整を行うことが可能です。

ワイヤー同士の接触回避やエッジに接触したワイヤーの
修復にも使用することができます。
評価解析時によく使用する工法の一つです。

使用機材　MODEL-7200CR

ペースト配線描画（ペースト再配線）

X-Y-Z　3軸マニピュレーターと極細特殊タングステン針を
併用することで、導電性ペーストで配線描画（ペースト再配線）
を行うことが可能です。

Auブロックを用いた電極作製と併用することで
再配線し難いレイアウトにも柔軟に対応することができます。

使用機材　MODEL-7200CR

Auブロックを用いた電極作製

任意の場所に□100μm～□200μmのAuブロックを実装し
評価用のAu電極を作成するハイソル株式会社オリジナルの工法です。

ペースト配線描画と併用することで、実装位置に制約はなくなり あらゆる評価解析サンプルに対して柔軟な対応が可能です。
勿論、Auブロック上は金線、アルミ線どちらでも
容易にワイヤーボンディングを行うことが可能です。

使用機材　MODEL-7200CR

セキュリティボンディング

再配線部分にバンプボンディングをし接続部分の補強を行います。

一般的には金線ボールボンディングの2ND部分が対象ですが
ハイソル株式会社ではアルミ線ウエッジボンディングの
1STボンド、2NDボンドの両方にも対応することができます。

使用機材　MODEL-7476D(7400D仕様）
使用機材　MODEL-7700D

ボンディング部の補強

X-Y-Z　3軸マニピュレーターと極細特殊タングステン針を
併用することで、極小範囲に少量の接材を塗布することが
可能です。それにより再ボンディング部の補強を行うことができ
測定中のワイヤー剥がれなどを防止することができます。

接着材は導電性、非導電性の何れでも使用可能です。

使用機材　MODEL-7200CR

特殊レイアウト配線（特殊ワイヤーボンディング）

マニュアル型のワイヤーボンダーに付属する
X-Y-Z　3軸マニピュレーター（特許）を用いることで
通常では配線できないようなレイアウトにも
対応することが可能。

ワイヤー位置調整技術と併用することで、配線同士の接触
配線の高低差を気にせずにワイヤーボンディングできますので
その柔軟性は格段に上がります。

MODEL-7476D(7400D仕様）

ペースト配線

導電性ペーストを用いてワイヤー配線を行う
ハイソル株式会社　オリジナルの作業です。

電極部分に一切の負荷を掛けることなく（接着材硬化条件を除く）配線を行うことができますので、評価解析サンプルには最適な
工法となります。

使用機材：MODEL-7200CR

配線切断（ダイヤモンドニードル使用）

特殊ダイヤモンドニードルを用いることで
容易に配線切断を行うことが可能です。
X-Y-Z　3軸マニピュレーター（特許）を用いた作業の為
位置合わせ精度も抜群です。

ダイヤモンドニードルの先端形状はR=15μmとなります。

使用機材：MODEL-7200CR

デモ機のご案内

弊社（東京　御徒町）に各種デモ機をご用意致しております。
装置ご検討に際し、実際のマシンを操作しながらのお打合せが可能です。
ご希望の際にはお気軽にお申し付け下さい。

また、サンプル持ち込みにも対応しております。
ご不明点がございましたらご連絡を頂けますようお願い申し上げます。
TEL　：　03-3836-2800

デモルームまでのアクセスは以下ををご参考下さい。

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