プローバー製品
ハイソル株式会社は、お客様の測定アプリケーションに最適な
プロービングソリューションをご提供します。
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セミオート・プローバー
各種サイズのウェハ面内自動測定に対応するセミオートプローバー。最大温度範囲-60℃～+400℃の温度特性テストに対応。
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マニュアル・プローバー
操作性・拡張性に優れた各種マニュアルプローバー。研究開発に最適なコンパクトモデル～12インチウェハ対応モデルをご用意。
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米国 MicroXact 社
スペシャリティプローバー真空・極低温・超高温・磁場印可をキーワードとしたユニークかつ先進的なスペシャリティプローバーをラインナップ
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真空プローバー
極低温～超高温対応小型真空マニュアルプローバーおよび-60℃～+300℃サーマルテスト対応真空セミオートプローバー
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磁気デバイス評価用プローバー
電磁石を搭載したスピントロニクスデバイス評価用磁場印可型プローバー。磁場印可エリアの高度な非磁性化に対応。
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オプトデバイス評価用プローバー
各種受発光デバイスの光学的特性、電気的特性をオンウェハまたはチップ状態でテスト可能なオプトデバイス評価用プローバー
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4探針プローバー
直列4探針法を用いてシリコンウェハ・太陽電池・ITO薄膜等のシート抵抗値/体積抵抗率の測定を行う4探針プローバー製品
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プローバーオプション
マイクロポジショナ・プローブアーム・プローブ針・ウェハチャック・シールド遮光ボックス等、各種プローバーオプション製品
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