ハイソル株式会社では、お客様のご要求仕様に基づき、薄膜加工用レーザーシステムの設計・製作を行っています。
豊富な加工事例、メカトロ設計技術、精密位置決め技術、ソフトウェア開発技術の組み合わせにより、お客様のレーザー薄膜加工アプリケーションに、最適なシステムをご提供できます。
- レーザー発振器およびレーザー加工用顕微鏡のコーディネート
- JIS-C6802 クラス1準拠の安全対策筐体の製作
- 精密ステージ (手動 / 電動 / セミオート) の製作
- 制御ソフトウェアの制作
- HOYA社 HSLシリーズの代替製品をご提案可能です
特長
- 大気圧下での加工
- レーザー加工サイズ 1um～300um□で調節可
- 多波長 (1064,532,355,266nm) 対応のため、多彩な材質をカッティング可能
- リアルタイム加工 (顕微鏡で加工状態を観察しながら加工可能)
- JIS-C6802 クラス1レーザー安全対策
- メンテナンスが容易
用途
- FIB、SEM前のポイントマーキング
- ICの保護膜、層間膜の除去
- ICのメタル配線のカット
- 有機デバイス等のパターンニング
- 液晶ディスプレイ、カラーフィルタのリペア
- 薄膜、厚膜パターンのショート欠陥リペア
- 高周波キャパシタのトリミング
- LSIの欠陥救済用ヒューズカット etc.
システム構築例
ラボ用の小型、手動ステージモデルから、オートフォーカスやパターン認識を組み込んだ生産用セミオートモデル、故障解析に特化した微細マーキングモデル等、設計製作にて対応します。
各種マニュアルプローバーやセミオートプローバーにレーザーを搭載することも可能です。
 簡易カバータイプ（クラス4），100mm□手動ステージ |
 卓上小型タイプ（クラス1），100mm□手動ステージ |
 大型基板対応，500mm□手動ステージ |
 3インチφウェハ対応電動ステージモデル |
 8インチφウェハ対応電動ステージモデル |
 故障解析用セミオートマーキングモデル |
 薄膜自動パターニングシステム |
 生産用セミオートリペアシステム |
 大型基板対応セミオートシステム |
 レーザー搭載マニュアルプローバー |
レーザー発振波長と加工対象材質
加工対象材質に合わせて、レーザー発振波長を4波長から選択できます。（1波長～最大4波長）
・ 1064nm，532nm 熱加工
・ 355nm，266nm アブレーション加工
【レーザー発振波長による加工適合性】 ※参考
| 1064nm(IR) | 532nm(Green) | 355nm(UV) | 266nm(DUV) |
|---|---|---|---|
| アルミ(Al) クロム(Cr) ニッケル(Ni) ITO |
アルミ(Al) クロム(Cr) ニッケル(Ni) チタン(Ti) 金(Au) 銅(Cu) ポリシリコン ITO |
アルミ(Al) クロム(Cr) モリブデン(Mo) シリコン(Si) ポリイミド 窒化膜 シリコン酸化膜(SiO2) ITO |
アルミ(Al) クロム(Cr) モリブデン(Mo) シリコン(Si) シリコンカーバイト(SiC) ポリイミド 窒化膜 シリコン酸化膜(SiO2) ITO |
システム要素技術
ハードウェア
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| レーザー発振器 波長 | 1064nm/532nm/355nm/266nm |
| レーザー最大出力エネルギー | ～12mJ ※発振器モデル、選択レーザー波長による |
| レーザー発振周波数 | 30Hz/60Hz |
| レーザー加工サイズ | ＜1um□ ～ 300um□ ※選択レーザー波長、対物レンズ構成による |
| ステージ方式 | マニュアル / 自動 |
| ステージ移動量 | 100mm□ ～ 500mm□ ※500mm□以上は要ご相談 |
| ステージ制御軸数 | XYZθ 4軸（標準） |
| ステージ位置決め精度 | XY ＜±5um（標準） XY ＜±1um（オプション） ※セミオートモデル、ステージ移動量により変動します |
| 顕微鏡照明 | 同軸落射（標準） 透過照明/拡散照明/暗視野（オプション） |
| オートフォーカス | 追従型AF，コントラストAF（オプション） |
| 除振システム | パッシブ / アクティブ（オプション） |
| 抵抗測定 – 自動トリミング | 対応可 ※要ご相談 |
| ローダー・アンローダー対応 | 対応可 ※要ご相談 |
| 安全対策 | JIS-C6802 [レーザー製品の放射安全基準] に準拠 |
ソフトウェア
- レーザー加工条件設定
- 位置決めステージ自動制御
- 画像認識（パターンマッチング）によるオートアライメント、位置補正 ※
- 画像認識による合否判定 ※
- 自動パターンニング ※
- CADナビゲーション（DXF/GDSII/Gerber etc.） ※
- ※要ご相談
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