ラインアップ

V1000 　顕微鏡用ローダー装置

特長

• 装置にウェハカセットをセットするとカセットマッピングを自動的に行い、
  カセット内のウェハを自動検出します。
• ウェハのローディング及び検査プロセスをソフトウェア上のレシピによっておこなうことが可能であるので、高精度な検査を保障することができます。
• 装置には操作用ハンドルが備えつけてあり、オペレーターはこのハンドルを使用することで、検査プロセス中にウェハを低速回転させることなどの操作を行うことが出来ます。
• ほぼすべての半導体検査用顕微鏡と互換性を有しております。

V2000　ブライトライトウェハ表面検査装置

特長

• 装置にウェハカセットをセットするとマッピングを自動的に行い、ソフトウェアにその情報が記憶されます。
• デュアルオペレーションモード（オート・マニュアル）により、効率性と操作性を両立させることができます。
• ソフトウェア上でのレシピ作成により、ウェハ検査プロセスを容易に実施することが出来ます。
  レシピは装置中央のタッチパネルを操作させることで作成することができます。
  このレシピは全てのオペレータが共有することが可能となります。
• 3軸に傾斜・回転を行うチャックとブライトライト照射によりウェハ検査に最適な環境を作り出します。

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